[發(fā)明專利]真空沉積腔室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710574813.5
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN107502858B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 斯蒂芬·班格特;安德烈亞斯·勒普;托馬斯·格比利;烏韋·許斯勒;喬斯·曼紐爾·迭格斯-坎波
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

描述一種真空沉積腔室。所述真空沉積腔室包括：材料沉積設(shè)備，具有分配管道；以及基板支撐件，用于在沉積期間支撐基板，其中所述材料沉積設(shè)備的至少一個(gè)分配管道與所述基板支撐件之間的距離小于250mm。

本申請是申請日為2014年11月7日、申請?zhí)枮?01480083241.5、發(fā)明名稱為“用于沉積已蒸發(fā)的材料的分配管道、真空沉積腔室和方法以及用于沉積已蒸發(fā)的材料的設(shè)備”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)施方式涉及一種材料沉積布置、一種用于材料沉積布置的分配管道、一種具有材料沉積布置的沉積設(shè)備、以及一種用于將材料沉積在基板上的方法。實(shí)施方式尤其涉及一種用于真空沉積腔室的材料沉積布置、一種具有材料沉積布置的真空沉積設(shè)備、以及一種用于在真空沉積腔室中將材料沉積在基板上的方法。

背景技術(shù)

有機(jī)蒸發(fā)器為用于生產(chǎn)有機(jī)發(fā)光二極管(organic light-emitting diodes，OLED)的工具。OLED為一種特別類型的發(fā)光二極管，在OLED中，發(fā)射層包括特定有機(jī)化合物薄膜。有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)用于制造顯示信息的電視屏幕、計(jì)算機(jī)顯示器、手機(jī)、其他手持裝置等。OLED也可用于一般空間照明。OLED顯示器的可能顏色、亮度和視角的范圍比傳統(tǒng)液晶顯示器(LCD)大，因?yàn)镺LED像素直接發(fā)光而非使用背光。因此，OLED顯示器的能量損耗顯著小于傳統(tǒng)液晶顯示器的能量損耗。另外，可將OLED制造在柔性基板上，這一事實(shí)產(chǎn)生更多應(yīng)用。典型OLED顯示器，舉例而言，可在兩個(gè)電極之間包括有機(jī)材料層，這些有機(jī)材料層全部沉積于基板上，使得形成具有可單獨(dú)激勵(lì)的像素的矩陣顯示面板。OLED一般置于兩個(gè)玻璃面板之間，并且玻璃面板邊緣被密封以封裝OLED于玻璃面板中。

制造這種顯示裝置面臨許多挑戰(zhàn)。OLED顯示器或OLED發(fā)光應(yīng)用包括例如在真空中蒸發(fā)的一些有機(jī)材料的堆疊。有機(jī)材料經(jīng)由遮蔽掩模(shadow mask)以接續(xù)的方式沉積。為了高效制造OLED堆疊，需要兩種或更多種材料(例如為主體(host)和摻雜劑)共沉積或共蒸發(fā)成混合/摻雜層。另外，必須考慮蒸發(fā)非常敏感的有機(jī)材料的若干工藝條件。

為了沉積材料于基板上，加熱材料直到材料蒸發(fā)。另外，例如，為了保持已蒸發(fā)的材料處于控制溫度或避免已蒸發(fā)的材料在管道中冷凝，可以加熱將材料引導(dǎo)到基板的管道。當(dāng)材料蒸發(fā)時(shí)，例如通過穿過具有用于已蒸發(fā)的材料的出口或噴嘴的分配管道，將材料引導(dǎo)到基板。在過去數(shù)年中，沉積工藝的準(zhǔn)確性已經(jīng)提高，例如能夠提供越來越小像素尺寸。然而，掩模遮蔽效應(yīng)、對已蒸發(fā)的材料的散布等等使得蒸發(fā)工藝的準(zhǔn)確性和預(yù)測性難以進(jìn)一步的提高。

鑒于上述，本文所述實(shí)施方式的目的是提供一種材料沉積布置、一種真空沉積腔室、一種分配管道、以及一種用于將材料沉積在基板上的方法，所述方法克服本領(lǐng)域的至少一些問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述，提供根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求的用于將材料沉積在基板上材料沉積布置、沉積腔室、分配管道，以及用于將材料沉積在基板上的方法。實(shí)施方式的其他方面、優(yōu)點(diǎn)和特征將從從屬權(quán)利要求、說明書和附圖顯而易見。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，提供一種用于在真空腔室中將已蒸發(fā)的材料沉積在基板上的材料沉積布置，已蒸發(fā)的材料具體地是兩種或更多種已蒸發(fā)的材料。材料沉積布置包括：第一材料源，包括第一材料蒸發(fā)器，第一材料蒸發(fā)器被配置為用于蒸發(fā)將沉積于基板上的第一材料，具體地是有上述兩種或更多種材料的第一材料；第一分配管道，包括第一分配管道殼體，其中第一分配管道與第一材料蒸發(fā)器流體連通；以及多個(gè)第一噴嘴，在第一分配管道殼體中，其中多個(gè)第一噴嘴中的一或多個(gè)噴嘴包括開口長度和開口尺寸，其中這些多個(gè)第一噴嘴中的一或多個(gè)噴嘴的長度對尺寸比等于或大于2:1。材料沉積布置進(jìn)一步包括：第二材料源，包括第二材料蒸發(fā)器，第二材料蒸發(fā)器被配置為用于蒸發(fā)將沉積于基板上的第二材料，具體地是有上述兩種或更多種材料的第二材料；第二分配管道，包括第二分配管道殼體，其中第二分配管道與第二材料蒸發(fā)器流體連通；以及多個(gè)第二噴嘴，在第二分配管道殼體中。多個(gè)第一噴嘴中的第一噴嘴與多個(gè)第二噴嘴中的第二噴嘴之間的距離等于或小于30mm。