[發明專利]柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法

有效

• 申請號: 201710573171.7
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN107731352B
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 徐從康
• 申請（專利權）人: 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;G06F3/044
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法，其特征在于，所述的透明導電氧化物薄膜電路沉積在25-100微米可彎曲柔性玻璃上而不是當前的剛性玻璃上；

制備方法包括如下步驟：

步驟1.對可彎曲的柔性玻璃基體進行超聲清洗、烘干；放入到真空卷對卷磁控濺射鍍膜機中進行等離子清洗；

步驟2.將帶有電路塑料的模板用卷對卷貼膜機壓貼到柔性玻璃上；

步驟3.將貼有電路塑料模板的柔性玻璃放到真空卷對卷磁控濺射鍍膜機的放卷器上，柔性玻璃的一端接到收卷器上；

步驟4.抽真空到10^-6到10^-8Torr；根據不同透明氧化物的特性，調節好功率10-30kW ，充入氬氣30-100SCCM，保持真空度2-50mTorr,用平面靶材或圓筒旋轉靶材進行磁控濺射原子鍍膜；

步驟5.將鍍有透明氧化物電路圖案的柔性玻璃在120-180℃溫度下進行調質處理；

步驟6.對柔性玻璃上的透明導電氧化物電路進行厚度、方阻進行質量；

步驟7.從真空磁控濺射機里取出收卷柔性玻璃去除電路塑料模板并進行表面檢查確保沒有裂痕，然后進行保護貼膜；

步驟8.用空心模板和絲網印刷做成一個四線觸摸屏面板；打印出銀電極和點間隔，將上面板和下面板小心組裝形成透明導電氧化物柔性觸摸屏電子儀器。

2.根據權利要求1所述的柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法，其特征在于，該透明導電氧化物薄膜電路厚度為50-500納米；導電方阻為5-500歐姆/□；透光率75-95％。

3.根據權利要求1所述的柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法，其特征在于，透明導電氧化物原料為透明導電氧化物平面或圓筒旋轉磁控濺射靶材，即銦錫氧化物，鋁摻雜氧化鋅，氟錫氧化物，鎵摻雜氧化鋅，銦鎵摻雜氧化鋅或銻錫氧化物。