[發明專利]柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法

有效

• 申請號: 201710573171.7
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN107731352B
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 徐從康
• 申請（專利權）人: 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;G06F3/044
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

本發明公開了一種柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法，鍍膜基體為覆蓋所需要的塑料電路模板厚度25?100微米的可繞圈彎曲的玻璃，透明導電氧化物原料為透明導電氧化物平面或圓筒旋轉磁控濺射靶材，如銦錫氧化物(ITO)，鋁摻雜氧化鋅(AZO)，氟錫氧化物(FTO)，鎵摻雜氧化鋅(GZO)，銦鎵摻雜氧化鋅(IGZO)，銻錫氧化物(STO)等，該方法包括：柔性玻璃的清洗，塑料電路模板貼合到柔性玻璃上；真空等離子卷對卷(R2R)磁控濺射原子沉積，溫度調質處理，厚度和質量檢測，保護貼膜。該透明氧化物薄膜厚度為50?500納米；導電方阻為5?500歐姆/□；透光率75?95％。

技術領域

本發明涉及柔性電子透明導電氧化物薄膜電路及其制備技術，尤其是一種柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法。

背景技術

柔性電子就是將電子器件制作在柔性可延性塑料、玻璃或薄金屬基板上的新興電子技術，以其獨特的柔性、延展性以及高效、低成本制造工藝，在信息、能源、醫療、國防等領域具有廣泛應用前景，如柔性電子顯示器、薄膜太陽能電池板、電子用表面粘貼等。柔性電子具有柔軟、可變形、質輕、便攜、可大面積應用等特性，并通過大量應用新材料和新工藝產生出大量新應用，包括RFID、柔性顯示、OLED發光、傳感器、柔性光伏、邏輯與存儲、柔性電池。在未來，貼個“貼紙”在手背上就能檢測紫外線照射程度；心臟起搏器再也不用換電池；同時電池能夠直接卷繞生產。近年來，柔性電子這一新興學科已經引起了國內外科技界與工業界的廣泛關注，吸引著眾多公司投入到這一科技領域的研發過程中來，加速柔性電子的實用產品開發和商業化進程。在科技發展“十三五”規劃中，國家正在通過政策引導與資金扶持將大力推動中國柔性與印刷電子的研究及產業化。我國是電子產業大國，但不是技術強國，柔性電子是我國爭取電子產業跨越式發展的機會。柔性電子具有廣闊市場，市場規模迅速擴張，可成為國家支柱產業。

柔性電子透明導電薄膜就是所產生的薄膜不僅具有導電性更具有透明性,是柔性薄膜太陽能，顯示屏、電致發光器件、薄膜晶體管、電容和電阻觸摸屏、透明加熱器等的重要材料。與剛性基材透明導電薄膜相比，其除具有導電性和透明性外，還具有柔軟性和可延伸性，是發展柔性電子器件的重要材料。

發明內容

發明目的：提供一種柔性電子玻璃導電透明氧化物薄膜電路，并進一步提供卷對卷磁控濺射模板原子沉積鍍膜方法，為柔性電子器件的發展提供基礎的可彎曲玻璃透明導電氧化物模板薄膜電路生產方法。

技術方案：本發明采用以下技術方案：一種柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法，所述的透明導電氧化物薄膜電路沉積在25-100微米可彎曲柔性玻璃上而不是當前的剛性玻璃上；

制備方法包括如下步驟：

步驟1.對可彎曲的柔性玻璃基體進行超聲清洗、烘干；放入到真空卷對卷磁控濺射鍍膜機中進行等離子清洗；

步驟2.將帶有電路塑料的模板用卷對卷貼膜機壓貼到柔性玻璃上；

步驟3.將貼有電路塑料模板的柔性玻璃放到真空卷對卷磁控濺射鍍膜機的放卷器上，柔性玻璃的一端接到收卷器上；

步驟4.抽真空到10^-6到10^-8Torr；根據不同透明氧化物的特性，調節好功率 10-30Kw，充入氬氣30-100SCCM，保持真空度2-50mTorr,用平面靶材或圓筒旋轉靶材進行磁控濺射原子鍍膜；

步驟5.將鍍有透明氧化物電路圖案的柔性玻璃在120-180℃溫度下進行調質處理；

步驟6.對柔性玻璃上的透明導電氧化物電路進行厚度、方阻進行質量；

步驟7.從真空磁控濺射機里取出收卷柔性玻璃去除電路塑料模板并進行表面檢查確保沒有裂痕，然后進行保護貼膜；