[發(fā)明專利]一種用于芯片的離子注入設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710571769.2
• 申請(qǐng)日: 2017-07-13
• 公開（公告）號(hào): CN107346723B
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卓廷厚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門芯光潤(rùn)澤科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/317
• 分類號(hào): H01J37/317;H01J37/32;H01L21/266
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于芯片的離子注入設(shè)備，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的頂端一側(cè)焊接有第一支柱（4），所述第一支柱（4）的中部開設(shè)有水平設(shè)置的通孔，且通孔內(nèi)套接有軸承，軸承的內(nèi)壁套接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿（3），所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（3）遠(yuǎn)離第一支柱（4）的一端通過螺絲固定有吸盤（5），所述底座（1）的頂端一側(cè)通過螺絲固定有伺服電機(jī)（2），所述底座（1）的頂端外壁另一側(cè)分別開設(shè)有第二電動(dòng)導(dǎo)軌（14）和第三電動(dòng)導(dǎo)軌（15），所述第三電動(dòng)導(dǎo)軌（15）和第二電動(dòng)導(dǎo)軌（14）的中間處相垂直，且第三電動(dòng)導(dǎo)軌（15）和第二電動(dòng)導(dǎo)軌（14）相連通，所述第二電動(dòng)導(dǎo)軌（14）的內(nèi)部鑲嵌有第二滑塊（13），所述第二滑塊（13）的頂端焊接有豎直設(shè)置的第二支柱（11），所述第二支柱（11）相對(duì)第一支柱（4）的一側(cè)開設(shè)有第一電動(dòng)導(dǎo)軌（9），所述第一電動(dòng)導(dǎo)軌（9）的內(nèi)部鑲嵌有第一滑塊（8），所述第一滑塊（8）遠(yuǎn)離第一電動(dòng)導(dǎo)軌（9）的一端通過螺絲固定有離子發(fā)生器（7），所述離子發(fā)生器（7）靠近吸盤（5）的一端焊接有離子槍頭（6），所述離子發(fā)生器（7）的底端焊接有電動(dòng)伸縮桿（10），所述電動(dòng)伸縮桿（10）的底端通過螺絲固定有水平設(shè)置的承載臺(tái)（12），且承載臺(tái)（12）的一端焊接在第二支柱（11）的外側(cè)壁。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片的離子注入設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（3）貫穿第一支柱（4），且轉(zhuǎn)動(dòng)桿（3）靠近第一支柱（4）的一端通過V帶和伺服電機(jī)（2）的輸出軸傳動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片的離子注入設(shè)備，其特征在于，所述伺服電機(jī)（2）通過導(dǎo)線連接有開關(guān)，且開關(guān)連接有控制器，控制器的型號(hào)為DATA-7311。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片的離子注入設(shè)備，其特征在于，所述離子槍頭（6）的距離底座（1）的高度和吸盤（5）距離底座（1）的高度相配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片的離子注入設(shè)備，其特征在于，所述第一電動(dòng)導(dǎo)軌（9）的長(zhǎng)度小于第二支柱（11）的高度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片的離子注入設(shè)備，其特征在于，所述第二電動(dòng)導(dǎo)軌（14）的長(zhǎng)度和寬度均小于底座（1）的長(zhǎng)度和寬度，第三電動(dòng)導(dǎo)軌（15）的長(zhǎng)度和寬度均小于底座（1）的長(zhǎng)度和寬度。