[發(fā)明專利]接合裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710565525.3
• 申請(qǐng)日: 2017-07-12
• 公開（公告）號(hào): CN107611058B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 稻益壽史
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種接合裝置，其特征在于，

該接合裝置具備：

上側(cè)保持部，其從作為非接合面的上表面?zhèn)缺３值?基板；

下側(cè)保持部，其設(shè)置于所述上側(cè)保持部的下方，使第2基板與所述第1基板相對(duì)而從下表面?zhèn)缺３衷摰?基板；

推壓部，其從上方按壓所述第1基板的中心部而使所述第1基板的中心部與所述第2基板接觸；以及

吸附保持部，其設(shè)置成相對(duì)于所述上側(cè)保持部升降自如，利用吸附來保持由所述上側(cè)保持部保持之前的所述第1基板的上表面的一部分，

所述吸附保持部具備：

基部，其相對(duì)于所述上側(cè)保持部升降自如；

多個(gè)吸氣流路，其形成于所述基部，供吸附所述第1基板的吸氣流通；以及

多個(gè)吸附構(gòu)件，其設(shè)置于所述多個(gè)吸氣流路，與由所述上側(cè)保持部保持之前的所述第1基板接觸而吸附所述第1基板，其中所述吸附構(gòu)件包括能夠在上下方向上伸縮的彈性構(gòu)件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接合裝置，其特征在于，

所述吸附保持部具備供所述推壓部貫穿的貫穿孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的接合裝置，其特征在于，

所述吸附構(gòu)件以在與所述第1基板接觸之前的狀態(tài)下從所述基部的靠所述第1基板側(cè)的端面突出的方式被定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的接合裝置，其特征在于，

該接合裝置具備控制所述吸附保持部的控制部，

所述控制部在使所述吸附保持部利用吸附保持了所述第1基板之后使所述吸附保持部上升，使所保持的所述第1基板向所述上側(cè)保持部交接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的接合裝置，其特征在于，

所述控制部在將所述第1基板交接到所述上側(cè)保持部之后使所述吸附保持部上升到比所述上側(cè)保持部的保持面靠上方的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的接合裝置，其特征在于，

所述上側(cè)保持部利用吸附來保持所述第1基板，

所述吸附保持部的吸附力設(shè)定成所述上側(cè)保持部的吸附力以下。