[發(fā)明專利]液體溫控裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710562725.3 | 申請日: | 2017-07-11 |
| 公開(公告)號: | CN107463011A | 公開(公告)日: | 2017-12-12 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳建鋒 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13;F28D1/047 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產權代理事務所44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 液體 溫控 裝置 | ||
技術領域
本發(fā)明涉及顯示技術制程領域,尤其涉及一種液體溫控裝置。
背景技術
隨著顯示技術的發(fā)展,液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)等平面顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優(yōu)點,而被廣泛的應用于手機、電視、個人數字助理、數字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品,成為顯示裝置中的主流。
現有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示器,其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當中放置液晶分子,兩片玻璃基板中間有許多垂直和水平的細小電線,通過通電與否來控制液晶分子改變方向,將背光模組的光線折射出來產生畫面。通常液晶顯示面板由彩膜基板(CF,Color Filter)、薄膜晶體管基板(TFT,Thin Film Transistor)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LC,Liquid Crystal)及密封膠框(Sealant)組成,其成型工藝一般包括:前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅動IC與印刷電路板壓合)。其中,前段Array制程主要是形成TFT基板,以便于控制液晶分子的運動;中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶;后段模組組裝制程主要是驅動IC壓合與印刷電路板的整合,進而驅動液晶分子轉動,顯示圖像。
在液晶顯示面板的制作過程中,經常需要對基板進行濕法蝕刻,以得到所需的圖案,在濕法蝕刻時,刻蝕液必須處于一個穩(wěn)定的溫度,以保證所述基板在一定時間內實現相同的蝕刻效果,因此,在進行濕法蝕刻時必須對刻蝕液進行溫度控制,目前常用的刻蝕液溫控裝置包括:用于存儲刻蝕液的儲液罐、設于所述儲液罐內的加熱器(Heater)、以及設于所述儲液罐內的冷卻盤管,工作時,通過加熱器加熱儲液罐內的刻蝕液,并在加熱到預設的反應溫度后,通過加熱器與冷卻盤管交替或同時工作,使得刻蝕液保持在預設的反應溫度,但由于加熱器為通過電阻發(fā)熱產生的熱能,加熱時會使得熱量聚集于加熱管的前端,造成刻蝕液加熱不均勻,為了提升刻蝕液加熱的均勻性,還需要通過循環(huán)泵(Pump)攪拌刻蝕液,并且由于加熱器置于刻蝕液中,此時與加熱器直接接觸的刻蝕液的溫度極高,容易造成刻蝕液裂解,縮短刻蝕液使用壽命,更為重要的是現有的刻蝕液溫控裝置的溫控精度只能達到±1~2℃,精度較低。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于一種液體溫控裝置,能夠提升液體溫控裝置的溫控精度,延長藥液使用壽命,減少液體溫控裝置的能耗,保證液體溫控裝置的安全性和穩(wěn)定性。
為實現上述目的,本發(fā)明提供了一種液體溫控裝置,包括:儲液罐、換熱盤管、溫度傳感器、以及模溫機;
所述儲液罐具有第一進水口和第一出水口,所述模溫機具有第二進水口和第二出水口,所述第一進水口與第二出水口連通,所述第一出水口與第二進水口連通,所述換熱盤管均勻分布于所述儲液罐內,且所述換熱盤管的兩端分別與第一進水口和第一出水口連通,所述溫度傳感器與所述模溫機電性連接;
所述溫度傳感器用于偵測儲液罐內的藥液的溫度并將偵測到的溫度反饋給模溫機,所述模溫機用于向所述換熱盤管提供熱水,并根據所述溫度傳感器偵測到的藥液溫度和預設的反應溫度調整提供給所述換熱盤管的熱水的流量和溫度。
所述儲液罐的頂部還設有用于清洗所述儲液罐的噴灑清洗管路。
所述儲液罐的側面還設有維修窗。
所述儲液罐的底部還設有廢液出口。
所述儲液罐的底面相對于水平面傾斜設置,且該底面在靠近所述廢液出口處的高度低于其遠離所述廢液出口處的高度。
所述溫度傳感器設于所述儲液罐的外部并延伸至所述儲液罐的內部與儲液罐內的藥液接觸。
還包括:設于所述儲液罐上的液位計。
所述換熱盤管為特氟龍軟管。
所述模溫機提供給所述換熱盤管的熱水的溫度小于或等于80℃。
所述儲液罐內的藥液為刻蝕液。
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