[發(fā)明專利]液體溫控裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710562725.3
• 申請(qǐng)日: 2017-07-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107463011A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳建鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13;F28D1/047
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種液體溫控裝置，其特征在于，包括：儲(chǔ)液罐(1)、換熱盤管(2)、溫度傳感器(3)、以及模溫機(jī)(4)；

所述儲(chǔ)液罐(1)具有第一進(jìn)水口(11)和第一出水口(12)，所述模溫機(jī)(4)具有第二進(jìn)水口(41)和第二出水口(42)，所述第一進(jìn)水口(11)與第二出水口(42)連通，所述第一出水口(12)與第二進(jìn)水口(41)連通，所述換熱盤管(2)均勻分布于所述儲(chǔ)液罐(1)內(nèi)，且所述換熱盤管(2)的兩端分別與第一進(jìn)水口(11)和第一出水口(12)連通，所述溫度傳感器(3)與所述模溫機(jī)(4)電性連接；

所述溫度傳感器(3)用于偵測(cè)儲(chǔ)液罐(1)內(nèi)的藥液的溫度并將偵測(cè)到的溫度反饋給模溫機(jī)(4)，所述模溫機(jī)(4)用于向所述換熱盤管(2)提供熱水，并根據(jù)所述溫度傳感器(3)偵測(cè)到的藥液溫度和預(yù)設(shè)的反應(yīng)溫度的差值調(diào)整提供給所述換熱盤管(2)的熱水的流量和溫度。

2.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液罐(1)的頂部還設(shè)有用于清洗所述儲(chǔ)液罐(1)的噴灑清洗管路(13)。

3.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液罐(1)的側(cè)面還設(shè)有維修窗(14)。

4.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液罐(1)的底部還設(shè)有廢液出口(15)。

5.如權(quán)利要求4所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液罐(1)的底面相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置，且該底面在靠近所述廢液出口(15)處的高度低于其遠(yuǎn)離所述廢液出口(15)處的高度。

6.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(3)設(shè)于所述儲(chǔ)液罐(1)的外部并延伸至所述儲(chǔ)液罐(1)的內(nèi)部與儲(chǔ)液罐(1)內(nèi)的藥液接觸。

7.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，還包括：設(shè)于所述儲(chǔ)液罐(1)上的液位計(jì)(5)。

8.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述換熱盤管(2)為特氟龍軟管。

9.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述模溫機(jī)(4)提供給所述換熱盤管(2)的熱水的溫度小于或等于80℃。

10.如權(quán)利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液罐(1)內(nèi)的藥液為刻蝕液。