[發明專利]液體溫控裝置

在審

• 申請號: 201710562725.3
• 申請日: 2017-07-11
• 公開（公告）號: CN107463011A
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 陳建鋒
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;F28D1/047
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種液體溫控裝置，其特征在于，包括：儲液罐(1)、換熱盤管(2)、溫度傳感器(3)、以及模溫機(4)；

所述儲液罐(1)具有第一進水口(11)和第一出水口(12)，所述模溫機(4)具有第二進水口(41)和第二出水口(42)，所述第一進水口(11)與第二出水口(42)連通，所述第一出水口(12)與第二進水口(41)連通，所述換熱盤管(2)均勻分布于所述儲液罐(1)內，且所述換熱盤管(2)的兩端分別與第一進水口(11)和第一出水口(12)連通，所述溫度傳感器(3)與所述模溫機(4)電性連接；

所述溫度傳感器(3)用于偵測儲液罐(1)內的藥液的溫度并將偵測到的溫度反饋給模溫機(4)，所述模溫機(4)用于向所述換熱盤管(2)提供熱水，并根據所述溫度傳感器(3)偵測到的藥液溫度和預設的反應溫度的差值調整提供給所述換熱盤管(2)的熱水的流量和溫度。

2.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲液罐(1)的頂部還設有用于清洗所述儲液罐(1)的噴灑清洗管路(13)。

3.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲液罐(1)的側面還設有維修窗(14)。

4.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲液罐(1)的底部還設有廢液出口(15)。

5.如權利要求4所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲液罐(1)的底面相對于水平面傾斜設置，且該底面在靠近所述廢液出口(15)處的高度低于其遠離所述廢液出口(15)處的高度。

6.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(3)設于所述儲液罐(1)的外部并延伸至所述儲液罐(1)的內部與儲液罐(1)內的藥液接觸。

7.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，還包括：設于所述儲液罐(1)上的液位計(5)。

8.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述換熱盤管(2)為特氟龍軟管。

9.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述模溫機(4)提供給所述換熱盤管(2)的熱水的溫度小于或等于80℃。

10.如權利要求1所述的液體溫控裝置，其特征在于，所述儲液罐(1)內的藥液為刻蝕液。