[發明專利]基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法在審
| 申請號： | 201710559050.7 | 申請日： | 2017-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN107388984A | 公開（公告）日： | 2017-11-24 |
| 發明（設計）人： | 周毅;唐燕;陳楚怡;鄧欽元;謝仲業;田鵬;李凡星;胡松;趙立新 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
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| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 結構 介質 聯合 調制 分辨 三維 形貌 檢測 方法 | ||
1.一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：采用白光寬光譜光源，通過空間光調制器DMD對測量光場振幅進行編碼操控，同時將介質微球放置于待測物體表面，縱向上，通過壓電陶瓷完成縱向高精度掃描，對CCD(Charge-Coupled Device)采集獲取的一系列結構光調制圖進行算法解析，尋找獨立單個像素點調制度極值，實現對微納結構的高度信息恢復；橫向上，利用介質微球產生超分辨三維光場的特性，通過顯微系統獲取得到突破衍射極限的超分辨成像；根據所得的縱向，橫向結構信息，最后整合成空間三維數據信息，實現微納結構的超分辨三維形貌檢測。
2.根據權利要求1所述的一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：采用白光寬光譜光源，通過空間光調制器DMD對測量光場振幅進行編碼操控，同時將介質微球放置于待測物體表面。
3.根據權利要求1所述的一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：縱向上，通過壓電陶瓷完成縱向高精度掃描，對CCD(Charge-Coupled Device)采集獲取的一系列結構光調制圖進行算法解析，尋找獨立單個像素點調制度極值，實現對微納結構的高度信息恢復。
4.根據權利要求1所述的一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：橫向上，利用介質微球產生超分辨三維光場的特性，通過顯微系統獲取得到突破衍射極限的超分辨成像。
5.根據權利要求1所述的一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：根據所得的縱向，橫向結構信息，最后整合成空間三維數據信息，實現微納結構的超分辨三維形貌檢測。
6.根據權利要求1至5任一項所述的一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：利用5步相移法獲取每個像素點的調制度數值，由于其相移法解析的高精度特性，通過尋找調制度極值點及其對應掃描位置，可高精度恢復高度信息；同時利用介質微球的超分辨成像特性，提高橫向檢測分辨率。
7.根據權利要求6所述的一種基于結構光與介質微球聯合調制的微納結構超分辨三維形貌檢測方法，其特征是：由于微球尺寸的限制，導致成像視場受限，當需要大視場超分辨成像時，還需要后期圖像拼接，完成整個微納結構的形貌檢測。
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