[發(fā)明專(zhuān)利]一種加熱承載臺(tái)及其控制方法、薄膜封裝設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710552534.9
• 申請(qǐng)日: 2017-07-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107195572B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 全威
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/683;H01L51/52
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤(rùn)湘

1.一種加熱承載臺(tái)，其特征在于，包括：

承載臺(tái)本體；

第一加熱裝置，所述第一加熱裝置在所述承載臺(tái)本體上形成第一加熱區(qū)域；

第二加熱裝置，所述第二加熱裝置在所述承載臺(tái)本體上形成第二加熱區(qū)域，所述第二加熱區(qū)域圍繞所述第一加熱區(qū)域設(shè)置；

溫控裝置，所述溫控裝置分別與所述第一加熱裝置和所述第二加熱裝置連接，并用于控制所述第一加熱裝置和第二加熱裝置的溫度，以使所述第二加熱裝置在加熱過(guò)程中的溫度高于所述第一加熱裝置在加熱過(guò)程中的溫度，且使所述第一加熱裝置的溫度在加熱過(guò)程中逐漸降低；

所述第一加熱裝置包括第一加熱管路，所述第一加熱管路盤(pán)繞形成所述第一加熱區(qū)域；

所述第二加熱裝置包括第二加熱管路，所述第二加熱管路圍繞所述第一加熱管路形成所述第二加熱區(qū)域；

所述第一加熱裝置包括與所述第一加熱管路連通的第一循環(huán)機(jī)構(gòu)，所述第一循環(huán)機(jī)構(gòu)用于使加熱后的導(dǎo)熱液體在所述第一加熱管路內(nèi)循環(huán)流動(dòng)；

所述第二加熱裝置包括與所述第二加熱管路連通的第二循環(huán)機(jī)構(gòu)，所述第二循環(huán)機(jī)構(gòu)用于使加熱后的導(dǎo)熱液體在所述第二加熱管路內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱承載臺(tái)，其特征在于，所述導(dǎo)熱液體為水或熱傳導(dǎo)液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱承載臺(tái)，其特征在于，所述第一加熱管路由銅或鋁材料制備，所述第二加熱管路由銅或鋁材料制備。

4.一種如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的加熱承載臺(tái)的控制方法，其特征在于，所述溫控裝置控制所述第二加熱裝置在加熱過(guò)程中的溫度高于所述第一加熱裝置在加熱過(guò)程中的溫度，并控制所述第一加熱裝置的溫度在加熱過(guò)程中逐漸降低。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱承載臺(tái)的控制方法，其特征在于，所述溫控裝置控制所述第二加熱裝置在加熱過(guò)程中的溫度高于所述第一加熱裝置在加熱過(guò)程中的溫度5℃-8℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱承載臺(tái)的控制方法，其特征在于，所述溫控裝置控制所述第一加熱裝置的溫度在加熱過(guò)程開(kāi)始后每分鐘降低5℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱承載臺(tái)的控制方法，其特征在于，所述溫控裝置控制所述第一加熱裝置的溫度在加熱過(guò)程中由80℃下降到65℃。

8.一種薄膜封裝設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的加熱承載臺(tái)。