[發(fā)明專利]一種無機電致變色電荷存儲電極及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710550005.5
• 申請日: 2017-07-07
• 公開（公告）號: CN107315299A
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉偉明;顏悅;韋友秀;陳牧;張曉鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 中國航發(fā)北京航空材料研究院
• 主分類號: G02F1/155
• 分類號: G02F1/155;C23C14/08;C23C14/58
• 代理公司: 中國航空專利中心11008
• 代理人: 李建英

1.一種無機電致變色電極，其特征在于：電極的組成包括：透明基底層(101)、透明導(dǎo)電層(102)和電致變色電荷存儲層(103)三部分，自上而下依次為電致變色電荷存儲層、透明導(dǎo)電層、透明基底層，電致變色電荷存儲層由Li_yFe₂(MoO₄)₃組成，其中：0≤y≤2；透明導(dǎo)電層為氧化銦錫、氟摻雜的二氧化錫、二氧化錫、氧化鋅、鋁摻雜的氧化鋅、鎵摻雜的氧化鋅中的一種或幾種薄膜復(fù)合；透明基底層為無機玻璃，聚酰亞胺，聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚碳酸酯。

2.一種制備權(quán)利要求1所述的無機電致變色電極的方法，其特征是，

(1)透明基底預(yù)處理

分別利用丙酮、乙醇和純凈水依次對透明基底層進行超聲清洗，氮氣吹掃后置于烘箱內(nèi)干燥處理，去除其表面的油污和雜質(zhì)；

(2)真空物理氣相沉積制備透明導(dǎo)電層

利用磁控濺射方式、電子束蒸發(fā)方式或離子鍍方式制備透明導(dǎo)電層，透明導(dǎo)電層的方電阻為5-30Ω/□；

(3)真空物理氣相沉積復(fù)合預(yù)制層以及后續(xù)反應(yīng)熱處理結(jié)晶

利用FeO、MoO₃和Li₂O靶材，磁控濺射方式、電子束蒸發(fā)方式或離子鍍方式，共沉積制備復(fù)合預(yù)制層，所采用的沉積氣氛為氬氧混合氣，設(shè)定腔室沉積氣壓，制備復(fù)合層，之后置于氬氧氣氛退火爐內(nèi)進行反應(yīng)熱處理，熱處理溫度范圍200～400℃，熱處理時間為10～120分鐘，熱處理氣氛為氬氧混合氣，氣壓范圍2.5×10^-1～5×10¹Pa，氬氧比為2/1～1/2，得到電荷存儲層化學(xué)計量比為Li_yFe₂(MoO₄)₃，其中：0≤y≤2；的電致變色薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制備權(quán)利要求1所述的無機電致變色電極的方法，其特征是，所述沉積氣氛為氬氧混合氣，沉積氣壓范圍1×10^-2～3Pa，氬氧比為5/1～1/4。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制備權(quán)利要求1所述的無機電致變色電極的方法，其特征是，所述電荷存儲層Li_yFe₂(MoO₄)₃薄膜厚度范圍100～400nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制備權(quán)利要求1所述的無機電致變色電極的方法，其特征是，所述沉積結(jié)束后進行熱處理，熱處理溫度范圍300～375℃，熱處理時間為30～60分鐘。