[發(fā)明專利]一種光刻膠用剝離液及其制備方法和應用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710549836.0
• 申請日: 2017-07-07
• 公開（公告）號: CN107168021B
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設計）人: 羅堂富
• 申請（專利權）人: 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 陳蔣玲

1.一種光刻膠用剝離液，其特征在于，包括酯基季銨氫氧化物、水溶性有機溶劑、非離子表面活性劑、去離子水，以重量計，酯基季銨氫氧化物為5-28%，水溶性有機溶劑為50-65%，非離子表面活性劑為0.5-2%，其余為去離子水；所述酯基季銨氫氧化物為單酯基季銨氫氧化物、雙酯基季銨氫氧化物中的一種或兩種，

如式Ι所示，， R₁、和R₃ 均選自C1-C5 的烷基，R₂選自C1-C5 的烷基或C1-C5的酯基，n為1-5中的任意整數，R₄為烷基。

2.根據權利要求1所述的光刻膠用剝離液，其特征在于，以重量計，酯基季銨氫氧化物為15-25%。

3.根據權利要求1所述的光刻膠用剝離液，其特征在于，以重量計，水溶性有機溶劑為55-60%。

4.根據權利要求1所述的光刻膠用剝離液，其特征在于，以重量計，非離子表面活性劑為0.8-1.2%。

5.根據權利要求1所述的光刻膠用剝離液，其特征在于，單酯基季銨氫氧化物為甲基乙醇胺甲酯基季銨氫氧化物、甲基乙醇胺乙酯基季銨氫氧化物、甲基醇胺甲酯基季銨氫氧化物、甲基乙基醇胺甲酯基季銨氫氧化物、甲基醇胺乙酯基季銨氫氧化物、甲基乙基醇胺乙酯基季銨氫氧化物、甲基丙醇胺甲酯基季銨氫氧化物、甲基丁醇胺甲酯基季銨氫氧化物中的一種。

6.根據權利要求1所述的光刻膠用剝離液，其特征在于，雙酯基季銨氫氧化物為甲基二乙醇胺甲酯基季銨氫氧化物、甲基二乙醇胺乙酯基季銨氫氧化物、甲基二乙醇胺丙酯基季銨氫氧化物中的一種。

7.如權利要求1-6任一項所述的光刻膠用剝離液的制備方法，其特征在于，酯基季銨氫氧化物、水溶性有機溶劑、非離子表面活性劑、去離子水均勻混合而成。

8.如權利要求1-6任一項所述的光刻膠用剝離液在剝離光致抗蝕劑中的應用。