[發(fā)明專利]測(cè)試探針、測(cè)試裝置及測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710549804.0
• 申請(qǐng)日: 2017-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN107102181B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周超;黃先純;張濤;吳正運(yùn);耿濤;甘由鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 彭久云

一種測(cè)試探針、測(cè)試裝置及測(cè)試方法。該測(cè)試探針包括針架以及至少部分伸入所述針架內(nèi)部且可與所述針架相對(duì)移動(dòng)的動(dòng)針。所述動(dòng)針配置為在相對(duì)所述針架移動(dòng)的第一行程內(nèi)與所述針架電連接以輸出測(cè)試信號(hào)，在相對(duì)所述針架移動(dòng)的第二行程內(nèi)與所述針架斷開電連接。該測(cè)試探針可以有效避免基板的扎傷風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開實(shí)施例涉及一種測(cè)試探針、測(cè)試裝置及測(cè)試方法。

背景技術(shù)

陣列綜合檢測(cè)(Array Test，AT)設(shè)備的測(cè)試方式為接觸式測(cè)試，探針組件(ProbeAssembly，PA)上的測(cè)試探針通過與基板表面直接接觸以加載測(cè)試信號(hào)。測(cè)試過程中由于支撐PA的探針組件支撐架的安裝存在誤差，或者PA的安裝存在誤差，亦或者測(cè)試探針的下降高度過低，都可能導(dǎo)致測(cè)試探針與基板表面之間的接觸變?yōu)閯傂越佑|，進(jìn)而可能導(dǎo)致扎傷基板。而此時(shí)測(cè)試探針與基板仍然存在接觸，AT設(shè)備正常測(cè)試，因此無法有效避免基板的扎傷風(fēng)險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本公開至少一實(shí)施例提供一種測(cè)試探針、測(cè)試裝置及測(cè)試方法。該測(cè)試探針可以有效避免基板的扎傷風(fēng)險(xiǎn)。

本公開至少一實(shí)施例提供一種測(cè)試探針，包括針架以及至少部分伸入所述針架內(nèi)部且可與所述針架相對(duì)移動(dòng)的動(dòng)針。所述動(dòng)針配置為在相對(duì)所述針架移動(dòng)的第一行程內(nèi)與所述針架電連接以輸出測(cè)試信號(hào)，在相對(duì)所述針架移動(dòng)的第二行程內(nèi)與所述針架斷開電連接。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述針架包括容納所述動(dòng)針的通道且在所述通道的一端設(shè)置有開口，所述動(dòng)針包括：設(shè)置在所述針架的通道內(nèi)的第一傳導(dǎo)部，設(shè)置在所述第一傳導(dǎo)部靠近所述開口的一端上且通過所述開口延伸至所述針架外的第二傳導(dǎo)部，以及設(shè)置在所述第二傳導(dǎo)部遠(yuǎn)離所述第一傳導(dǎo)部的一端上的針頭。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述第一傳導(dǎo)部與所述針架彼此絕緣，所述第二傳導(dǎo)部配置為在所述第一行程內(nèi)與所述針架開口處的內(nèi)壁保持電連接，在所述第二行程內(nèi)與所述針架開口處的內(nèi)壁保持絕緣。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述第二傳導(dǎo)部在所述第二行程內(nèi)與所述針架開口處的內(nèi)壁接觸的部分上設(shè)置有絕緣層。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，在所述第一傳導(dǎo)部遠(yuǎn)離所述第二傳導(dǎo)部的一端的端面上和所述第一傳導(dǎo)部的外表面上設(shè)置有絕緣層。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，在所述針架內(nèi)壁除了所述開口處的內(nèi)壁的部分上設(shè)置有絕緣層。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述第一傳導(dǎo)部的材料為絕緣材料。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述第二傳導(dǎo)部與所述針架彼此絕緣；所述第一傳導(dǎo)部配置為在所述第一行程內(nèi)與所述通道的內(nèi)壁保持電連接，在所述第二行程內(nèi)與所述通道的內(nèi)壁保持絕緣。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述針架在所述開口處的內(nèi)壁上設(shè)置有絕緣膜，所述針架在所述第二行程內(nèi)與所述第一傳導(dǎo)部接觸的內(nèi)壁上設(shè)置有絕緣膜。

例如，本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針還包括：設(shè)置在所述針架的通道遠(yuǎn)離所述開口的一端上的探針端蓋，以及設(shè)置在所述針架的通道內(nèi)且與所述第一傳導(dǎo)部連接的彈性裝置；所述彈性裝置處于受力狀態(tài)。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述彈性裝置包括彈簧。

例如，在本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試探針中，所述第一傳導(dǎo)部、所述第二傳導(dǎo)部和所述針頭一體成型。

本公開至少一實(shí)施例還提供一種測(cè)試裝置，包括本公開任一實(shí)施例所述的測(cè)試探針。

例如，本公開一實(shí)施例提供的測(cè)試裝置還包括探針組件和探針組件支撐架；所述探針組件包括多個(gè)測(cè)試探針。