[發明專利]測試探針、測試裝置及測試方法

有效

• 申請號: 201710549804.0
• 申請日: 2017-07-07
• 公開（公告）號: CN107102181B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 周超;黃先純;張濤;吳正運;耿濤;甘由鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 彭久云

1.一種測試探針，包括：

針架，以及

至少部分伸入所述針架內部且可與所述針架相對移動的動針，其中，

所述動針配置為在相對所述針架移動的第一行程內與所述針架電連接以輸出測試信號，在相對所述針架移動的第二行程內與所述針架斷開電連接；

所述針架包括容納所述動針的通道且在所述通道的一端設置有開口，

所述動針包括：

設置在所述針架的通道內的第一傳導部，

設置在所述第一傳導部靠近所述開口的一端上且通過所述開口延伸至所述針架外的第二傳導部，以及

設置在所述第二傳導部遠離所述第一傳導部的一端上的針頭。

2.根據權利要求1所述的測試探針，其中，

所述第一傳導部與所述針架彼此絕緣，

所述第二傳導部配置為在所述第一行程內與所述針架開口處的內壁保持電連接，在所述第二行程內與所述針架開口處的內壁保持絕緣。

3.根據權利要求2所述的測試探針，其中，所述第二傳導部在所述第二行程內與所述針架開口處的內壁接觸的部分上設置有絕緣層。

4.根據權利要求3所述的測試探針，其中，在所述第一傳導部遠離所述第二傳導部的一端的端面上和所述第一傳導部的外表面上設置有絕緣層。

5.根據權利要求3所述的測試探針，其中，在所述針架內壁除了所述開口處的內壁的部分上設置有絕緣層。

6.根據權利要求3所述的測試探針，其中，所述第一傳導部的材料為絕緣材料。

7.根據權利要求1所述的測試探針，其中，

所述第二傳導部與所述針架彼此絕緣，

所述第一傳導部配置為在所述第一行程內與所述通道的內壁保持電連接，在所述第二行程內與所述通道的內壁保持絕緣。

8.根據權利 要求7所述的測試探針，其中，

所述針架在所述開口處的內壁上設置有絕緣膜，

所述針架在所述第二行程內與所述第一傳導部接觸的內壁上設置有絕緣膜。

9.根據權利要求1-8任一所述的測試探針，還包括：

設置在所述針架的通道遠離所述開口的一端上的探針端蓋，以及

設置在所述針架的通道內且與所述第一傳導部連接的彈性裝置；其中，

所述彈性裝置處于受力狀態。

10.根據權利要求9所述的測試探針，其中，所述彈性裝置包括彈簧。

11.根據權利要求1-5、7、8任一所述的測試探針，其中，所述第一傳導部、所述第二傳導部和所述針頭一體成型。

12.一種測試裝置，包括權利要求1-11任一所述的測試探針。

13.根據權利要求12所述的測試裝置，還包括探針組件和探針組件支撐架，其中，所述探針組件包括多個所述測試探針。

14.一種使用如權利要求12或13所述的測試裝置進行測試的測試方法，包括：

驅動所述測試探針使所述測試探針與被測基板接觸；

通過所述測試探針加載測試信號；

當檢測到所述測試信號與所述被測基板的連接斷開后，停止驅動所述測試探針。