[發(fā)明專利]一種特氟龍快速微加工裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710548247.0
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN107215847A
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李以貴;呂曈;蔡金東;黃遠(yuǎn);顏平;王歡
• 申請（專利權(quán)）人: 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 上海漢聲知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司31236
• 代理人: 封喜彥,胡晶

1.一種特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，包括：同步輻射光光源、噴嘴、光束整形器、加熱板，其中，所述光源位于所述噴嘴的前端，所述加熱板覆蓋于所述噴嘴的表面，所述光束整形器設(shè)置于所述加熱板的中心位置，所述同步輻射光光源發(fā)出的同步輻射光線通過所述光束整形器，并且所述噴嘴、所述光束整形器和所述加熱板之間為準(zhǔn)直性組裝。

2.如權(quán)利要求1所述的特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，所述的加熱板由絕緣的基板和加熱絲構(gòu)成，并且所述加熱絲分布在光束整形器的兩側(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，所述加熱板上的加熱絲采用鎢電阻絲，所述絕緣的基板采用玻璃材料。

4.如權(quán)利要求1所述的特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，所述噴嘴的結(jié)構(gòu)參數(shù)為：直徑5mm，長20mm，尖端針孔直徑80μm。

5.如權(quán)利要求1所述的特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，所述光束整形器為由20×20×5μm³的聚酰亞胺材料制備形成的正方形小孔。

6.如權(quán)利要求1所述的特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，所述加熱板的基板的尺寸為6mm×6mm×0.4mm。

7.如權(quán)利要求2或3所述的特氟龍快速微加工裝置，其特征在于，所述加熱絲的電阻溫度系數(shù)為0.00482/℃。

8.一種特氟龍快速微加工裝置的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一，采用傳統(tǒng)機(jī)械工藝制作噴嘴，尺寸為：直徑5mm，長20mm，尖端針孔直徑80μm；

采用微細(xì)加工技術(shù)制備光束整形器和加熱板的加熱絲，加熱板的材料為玻璃基板，加熱絲為鎢，加熱板的基板的尺寸為6mm×6mm×0.4mm；

第二，用傳統(tǒng)裝配技術(shù)將噴嘴、光束整形器和加熱板進(jìn)行組裝，組裝過程保證準(zhǔn)直性。

9.一種使用權(quán)利要求1的裝置的特氟龍快速微加工方法，其特征在于，包括如下步驟：打開同步輻射光光源，隨即產(chǎn)生同步輻射光光線，該光線在到達(dá)噴嘴的末端時，通過加熱板上的光束整形器，形成一束較細(xì)的同步輻射光束，照射到特氟龍加工件上進(jìn)行特氟龍微加工，同時加熱板貼近特氟龍加工件而局部加熱特氟龍加工件，對特氟龍進(jìn)行快速加工。

10.如權(quán)利要求9所述的特氟龍快速微加工方法，其特征在于，當(dāng)噴嘴旋轉(zhuǎn)時，噴嘴中同步輻射光光線會發(fā)生相應(yīng)偏轉(zhuǎn)。