[發明專利]麥克風及其制造方法

有效

• 申請號: 201710546460.8
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN108111958B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 俞一善
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社;起亞自動車株式會社
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

本公開涉及麥克風及其制造方法。本公開內容提供了一種麥克風，包括：基板，具有聲孔；振動電極，布置在基板上；以及固定層，布置在振動電極上，其中，固定層的與基板的聲孔相對應的中央部向上凸出形成。

相關申請的交叉引證

本申請要求于2016年11月24日提交的韓國專利申請第10-2016-0157567號的優先權和權益，通過引證將其全部內容結合于本文中。

技術領域

本公開內容涉及麥克風(microphone)及其制造方法。

背景技術

該部分中的陳述僅提供了與本公開內容相關的背景信息并且不可構成現有技術。

通常，將語音轉換為電信號的麥克風可應用于各種裝置，諸如移動通信裝置、耳機、助聽器等。

麥克風已經小型化，并且基于微型機電系統(MEMS)技術正在開發微型機電系統(MEMS)麥克風。

這種MEMS麥克風可以由半導體分批處理制造而成。它比傳統的駐極體電容麥克風(ECM)可具有更強的耐濕性和耐熱性。另外，它的大小可變得更小并且它可與信號處理電路結合。

MEMS麥克風可分為壓電MEMS麥克風和電容MEMS麥克風。

壓電MEMS麥克風僅包括振動膜(vibration membrane)。當振動膜受到外部聲壓而變形時，由于壓電效應產生電信號。因此，基于電信號測量聲壓。

電容MEMS麥克風包括固定層和振動膜。當外部聲壓施加到振動膜時，隨著固定層與振動膜之間的間隔改變，它的電容值也改變。

在這種情況下，改變的電容被輸出作為電壓信號，其對應于作為用于電容MEMS麥克風的主要性能指標中的一個的靈敏度。

為了提高這種靈敏度，期望減少振動膜的硬度。

發明內容

本公開內容的一些形式提供了一種麥克風，包括：具有聲孔(acoustic hole)的基板；振動電極，布置在基板上；以及固定層，布置在振動電極上并且形成為使得固定層的與基板的聲孔相對應的中央部向上凸出。

振動電極的邊緣可利用結合至基板，氧化層介于振動電極的邊緣與基板之間。

固定層可以包括：形成在振動電極上的背板；以及在背板的上部的由背板支撐的固定電極。

固定層可以形成為具有平坦的邊緣和具有拱頂形狀(dome shape)的彎曲的中央部。

多個通孔可以形成在固定層中的與聲孔相對應的位置處。

可通過其暴露出振動電極的電極孔形成為穿透固定層的邊緣的一側。

在本公開內容的一些形式中，可以通過形成具有向上凸出的拱頂形狀的固定電極的中央部來提高靈敏度，使得振動電極與固定電極之間的距離可以在振動電極振動時始終保持一致。

另外的應用領域從本文中所提供的描述中將變得顯而易見。應當理解的是，描述和具體實例僅旨在用于說明的目的，而并非旨在限制本公開內容的范圍。

附圖說明

為了可以充分理解本公開內容，現在將參考附圖以實例的方式描述本公開內容的各種形式，在附圖中：

圖1示出了麥克風的示意圖；

圖2至圖9示出了用于制造麥克風的制造方法的順序處理圖；以及

圖10示出了分析麥克風的靈敏度的曲線圖。

本文中描述的附圖僅用于說明目的并且不旨在以任何方式限制本公開內容的范圍。

具體實施方式