[發(fā)明專利]麥克風及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710546460.8
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN108111958B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 俞一善
• 申請（專利權(quán)）人: 現(xiàn)代自動車株式會社;起亞自動車株式會社
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

1.一種麥克風，包括：

具有聲孔的基板；

振動電極，布置在所述基板上；以及

固定層，布置在所述振動電極上，其中，所述固定層的與所述基板的所述聲孔相對應(yīng)的中央部向上凸出形成，

其中，所述固定層形成為具有平坦的邊緣以及具有拱頂形狀的彎曲的中央部，使得在所述振動電極振動時所述振動電極與所述固定層之間的改變的距離增加以提高所述麥克風的靈敏度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風，其中，

所述振動電極的邊緣接合至所述基板，氧化層介于所述振動電極的邊緣與所述基板之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風，其中，所述固定層包括：

背板，形成在所述振動電極上；以及

在所述背板的上部的由所述背板支撐的固定電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的麥克風，其中，

多個通孔形成在所述固定層中的與所述聲孔相對應(yīng)的位置處。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的麥克風，其中，

形成穿透所述固定層的一側(cè)的電極孔，其中，通過所述電極孔暴露出所述振動電極。

6.一種麥克風的制造方法，包括以下步驟：

在基板的上表面上形成振動電極；

形成支撐層，其中，所述支撐層部分地形成在所述振動電極上并且所述支撐層的中央部向上凸出形成；

形成固定層，其中，在所述振動電極和所述支撐層上向上凸出形成所述固定層的中央部，其中，所述固定層形成為具有平坦的邊緣以及具有拱頂形狀的彎曲的中央部，使得在所述振動電極振動時所述振動電極與所述固定層之間的改變的距離增加以提高所述麥克風的靈敏度；并且

通過蝕刻所述基板的背面形成聲孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的麥克風的制造方法，其中，形成所述振動電極包括：

在所述基板上形成氧化層；并且

在所述氧化層上形成所述振動電極。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的麥克風的制造方法，其中，形成所述支撐層包括：

蝕刻除了形成在所述振動電極上的所述支撐層的中央部的預(yù)定區(qū)域之外的所述支撐層的邊緣；并且

通過將熱量施加至所述支撐層的中央部的預(yù)定區(qū)域形成具有彎曲形狀的所述支撐層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的麥克風的制造方法，其中，形成所述支撐層包括：

形成由鋁材料制成的所述支撐層。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的麥克風的制造方法，其中，形成所述固定層包括：

在所述振動電極上和所述支撐層的整個上方區(qū)域上形成背板；并且

在所述背板上形成固定電極。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的麥克風的制造方法，其中，形成所述固定層包括：

形成所述背板和所述固定電極，其中，所述背板和所述固定電極中的每一個形成為具有平坦的邊緣和具有拱頂形狀的彎曲的中央部。

12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的麥克風的制造方法，其中，在形成所述固定層之后，所述制造方法進一步包括：

形成穿透與所述支撐層相對應(yīng)的所述固定層的多個通孔；并且

形成穿透所述固定層的一側(cè)的電極孔。

13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的麥克風的制造方法，其中，在形成所述聲孔之后，所述制造方法進一步包括：

蝕刻與所述聲孔相對應(yīng)的氧化層；并且

移除所述支撐層。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的麥克風的制造方法，其中，移除所述支撐層包括：

使用金屬移除劑。