[發(fā)明專利]器件制造系統(tǒng)及圖案形成裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710545966.7
• 申請(qǐng)日: 2014-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN107255908B
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鈴木智也;小宮山弘樹;加藤正紀(jì);渡邊智行;鬼頭義昭;堀正和;林田洋祐;木內(nèi)徹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;H01L51/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;李文嶼

1.一種圖案形成裝置，將長(zhǎng)尺寸的撓性的片材基板沿長(zhǎng)邊方向搬送的同時(shí)，在該片材基板上的規(guī)定位置形成圖案，其特征在于，具有：

圖案化裝置，其具有包括用于將所述片材基板沿著規(guī)定的搬送路徑在長(zhǎng)邊方向上搬送的多個(gè)引導(dǎo)輥在內(nèi)的搬送部、和設(shè)在所述搬送路徑的一部分上并在所述片材基板的表面的所述規(guī)定位置形成所述圖案的圖案形成部；

減振裝置，其設(shè)在設(shè)置有所述圖案化裝置的基臺(tái)面與所述圖案化裝置之間；

位置調(diào)整裝置，其與所述圖案化裝置獨(dú)立地設(shè)置且設(shè)置在所述基臺(tái)面上，包括用于朝向所述圖案化裝置的所述搬送部送出所述片材基板的引導(dǎo)輥，并且在與所述片材基板的長(zhǎng)邊方向正交的寬度方向上調(diào)整所述片材基板的位置；

位置誤差計(jì)測(cè)部，其計(jì)測(cè)和所述圖案化裝置與所述位置調(diào)整裝置的相對(duì)的位置變化相關(guān)的變化信息；和

控制裝置，其基于所述變化信息來控制所述位置調(diào)整裝置，

在所述搬送部設(shè)有能夠傾斜的調(diào)整輥，所述調(diào)整輥相對(duì)于所述搬送路徑中的所述圖案形成部而在上游側(cè)，配置成在所述長(zhǎng)邊方向上施有規(guī)定的張力的狀態(tài)下，將所述片材基板的所述搬送路徑折曲，

所述控制裝置通過基于所述變化信息使所述調(diào)整輥傾斜，來調(diào)整向圖案形成部搬送的片材基板的寬度方向上的位置。

2.如權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述圖案化裝置的所述搬送部具有旋轉(zhuǎn)滾筒，所述旋轉(zhuǎn)滾筒能夠以配置成沿所述片材基板的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)，并且所述旋轉(zhuǎn)滾筒具有相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)軸為一定曲率半徑的圓筒面狀的外周面，所述旋轉(zhuǎn)滾筒沿所述外周面支承所述片材基板的長(zhǎng)邊方向的一部分。

3.如權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述位置誤差計(jì)測(cè)部具有多個(gè)位置檢測(cè)部，所述位置檢測(cè)部用于檢測(cè)在所述片材基板的所述寬度方向上的所述圖案化裝置與所述位置調(diào)整裝置的相對(duì)位置的變化、和所述圖案化裝置與所述位置調(diào)整裝置的相對(duì)傾斜和/或相對(duì)旋轉(zhuǎn)的變化。

4.如權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于，

還設(shè)有第1基板檢測(cè)部，為了檢測(cè)從所述位置調(diào)整裝置送至所述圖案化裝置的所述搬送部的所述片材基板的所述寬度方向上的傾斜，所述第1基板檢測(cè)部在所述片材基板的寬度方向的兩側(cè)的邊緣部分別計(jì)測(cè)所述片材基板的表面的法線方向的位置的差值。

5.如權(quán)利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述控制裝置基于在所述第1基板檢測(cè)部計(jì)測(cè)到的所述片材基板的傾斜，調(diào)整設(shè)于所述圖案化裝置的所述搬送部的所述調(diào)整輥的傾斜量，修正支承于所述旋轉(zhuǎn)滾筒的所述片材基板向所述寬度方向的位移。

6.如權(quán)利要求2～5中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述圖案化裝置的所述圖案形成部包含曝光裝置和印刷裝置中的某一方，所述曝光裝置向由所述旋轉(zhuǎn)滾筒的外周面支承的所述片材基板的表面投射與所述圖案相應(yīng)的光能，所述印刷裝置通過涂敷墨水而在所述片材基板的表面上描畫所述圖案。