[發(fā)明專利]平板電極結(jié)構(gòu)和等離子體沉積設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710537334.6
• 申請(qǐng)日: 2017-07-04
• 公開（公告）號(hào): CN109207965B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐玄玄;王俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海稷以科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50
• 代理公司: 上海立群專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31291
• 代理人: 侯莉;何靜生

1.一種平板電極結(jié)構(gòu)，用于等離子體沉積設(shè)備，包括：

至少一個(gè)陰極（2）和一個(gè)陽極（1），且這些陰極（2）和陽極（1）之間依次交替設(shè)置；

其特征在于：至少有一個(gè)陽極（1）內(nèi)形成有第一送氣通道，且在所述陽極（1）朝向陰極（2）的一面的中部開有第一出氣口（12），在所述陽極（1）的邊緣開有第一進(jìn)氣口（11）；

氣體從所述第一進(jìn)氣口（11）進(jìn)入所述第一送氣通道，從所述第一出氣口（12）排出，形成等離子體；所述第一出氣口（12）包括：若干個(gè)第一出氣孔（121），且這些第一出氣孔（121）呈陣列分布；在所述陽極（1）中，至少有一個(gè)陽極（1）位于兩個(gè)陰極（2）之間，且這些位于兩個(gè)陰極（2）之間的陽極（1）的朝向陰極（2）的兩面都開有第一出氣口（12）；

其中，位于同一個(gè)陽極（1）上不同的兩個(gè)面上的第一出氣孔（121）之間相互交錯(cuò)設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：至少有一個(gè)所述陰極（2）內(nèi)形成有第二送氣通道，且在所述陰極（2）朝向陽極（1）的一面的中部開有第二出氣口（22），在所述陰極（2）的邊緣開有第二進(jìn)氣口（21）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第二出氣口（22）包括：若干個(gè)第二出氣孔（221），且這些第二出氣孔（221）呈陣列分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平板電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一出氣口（12）包括若干個(gè)第一出氣孔（121）；

其中，在每對(duì)相鄰的陽極（1）和陰極（2）上，所述陽極（1）的第一出氣口（12）上的出氣孔的開孔位置與所述陰極（2）的第二出氣口（22）上的出氣孔的開孔位置相互交錯(cuò)設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一出氣口（12）和/或所述第二出氣口（22）為圓形、矩形或橢圓形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述陽極（1）和/或所述陰極（2）可拆卸設(shè)置。

7.一種等離子體沉積設(shè)備，其特征在于：包括權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的平板電極結(jié)構(gòu)；

所述等離子體設(shè)備還包括：

氣源（3），用于供應(yīng)氣體；

第一進(jìn)氣通道（31），與所述氣源（3）連接，從所述平板電極結(jié)構(gòu)的一側(cè)向著所述陰極（2）和陽極（1）之間送氣；

第二進(jìn)氣通道（32），與所述氣源（3）和所述第一進(jìn)氣口（11）相連接，用于向所述第一送氣通道內(nèi)送氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體沉積設(shè)備，其特征在于：

所述第一進(jìn)氣通道（31）通過第一氣體流量計(jì)（33）與所述氣源（3）連接；

所述第二進(jìn)氣通道（32）通過第二氣體流量計(jì)（34）與所述氣源（3）連接。