[發明專利]一種掩膜板及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201710533788.6
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN107142451B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 孫中元;薛金祥
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜;劉偉<國際申請>=<國際公布>=<

本發明涉及成膜技術領域，公開了一種掩膜板及蒸鍍設備。所述掩膜板包括圖形區域，所述圖形區域設置有鏤空圖形，在掩膜板的除鏤空圖形之外的區域設置膜厚測試片，在蒸鍍制程中，膜厚測試片上會沉積蒸鍍材料，通過檢測所述膜厚測試片上薄膜的膜厚，可以獲取掩膜板上薄膜的膜厚，從而當薄膜的膜厚達到一定的厚度時，能夠及時更換掩膜板，避免出現薄膜剝離污染設備的問題。

技術領域

本發明涉及成膜技術領域，特別是涉及一種掩膜板及蒸鍍設備。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，簡稱“OLED”)，具有全固態結構、高亮度、全視角、響應速度快、工作溫度范圍寬、可實現柔性顯示等一系列優點。尤其在柔性顯示領域，其可以被卷曲、折疊，因此在便攜產品或穿戴產品領域有著極為寬廣的前景。

OLED器件的制作方法有真空蒸鍍(Vacuum Evaporation)、激光熱轉印(LaserInduced Thermal Imaging,LITI)、噴墨打印(Ink Jet Print)等，目前真空蒸鍍技術比較成熟，是各大廠商使用的主流技術。

OLED器件的蒸鍍分為有機材料蒸鍍和金屬材料蒸鍍，金屬材料一般使用Mg、Ag、Al等。金屬蒸鍍的掩膜版包括圖形區域和位于圖形區域的周邊區域，金屬材料以掩膜板為阻擋，通過圖形區域的鏤空圖形蒸鍍到OLED器件上。蒸鍍工序完成后，會將掩膜版搬送回至掩膜版存儲腔室。

在蒸鍍過程中，掩膜版上也會沉積金屬材料，當掩膜板上的金屬膜膜厚達到一定厚度時，就會發生剝離，導致產生大量顆粒，污染真空蒸鍍設備。

發明內容

本發明提供一種掩膜板及蒸鍍設備，用以解決在蒸鍍過程中掩膜板上沉積的薄膜膜厚達到一定厚度時，會發生剝離，污染蒸鍍設備的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種掩膜板，包括板體，所述板體包括圖形區域和位于所述圖形區域外圍的周邊區域，所述圖形區域設置有鏤空圖形，其特征在于，所述掩膜板還包括膜厚測試片，所述膜厚測試片對應所述板體的除所述鏤空圖形之外的區域設置。

如上所述的掩膜板，其中，所述膜厚測試片設置在所述周邊區域。

如上所述的掩膜板，其中，所述掩膜板包括至少兩個膜厚測試片，所述至少兩個膜厚測試片均勻分布在所述圖形區域的周邊。

本發明實施例中還提供一種蒸鍍設備，包括用于放置如上所述的掩膜板的存儲腔，其中，還包括：

膜厚檢測單元，用于測量所述掩膜板的膜厚測試片上的第一薄膜的膜厚。

如上所述的蒸鍍設備，其中，所述蒸鍍設備還包括：

報警單元；

控制單元，與所述膜厚檢測單元和報警單元連接，當第一薄膜的膜厚達到預設厚度時，所述控制單元控制所述報警單元發出警報。

如上所述的蒸鍍設備，其中，所述存儲腔內設置有承載部，所述掩膜板固定放置在所述承載部上；

所述膜厚檢測單元固定在所述承載部上，并與所述掩膜板的膜厚測試片的位置對應。

如上所述的蒸鍍設備，其中，所述膜厚測試片上的第一薄膜的材料為金屬，所述膜厚測試片的材料為絕緣材料；

所述膜厚檢測單元包括：

固定在所述承載部上的第一驅動機構；

固定在所述第一驅動機構的輸出端的方塊電阻測試儀，所述方塊電阻測試儀包括計算單元、本體和設置在所述本體上的至少一個探針，所述第一驅動機構用于驅動所述探針插入所述第一薄膜中；所述計算單元與所述探針連接，當所述探針插入所述第一薄膜中時，所述計算單元計算所述第一薄膜的方塊電阻；