[發明專利]一種掩膜板及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201710533788.6
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN107142451B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 孫中元;薛金祥
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜;劉偉<國際申請>=<國際公布>=<

1.一種蒸鍍設備，包括用于放置掩膜板的存儲腔，所述掩膜板包括板體，所述板體包括圖形區域和位于所述圖形區域外圍的周邊區域，所述圖形區域設置有鏤空圖形，其特征在于，

所述掩膜板還包括膜厚測試片，所述膜厚測試片對應所述板體的除所述鏤空圖形之外的區域設置；

所述蒸鍍設備還包括：

膜厚檢測單元，用于測量所述掩膜板的膜厚測試片上的第一薄膜的膜厚；

所述膜厚測試片上的第一薄膜的材料為金屬，所述膜厚測試片的材料為絕緣材料；

所述膜厚檢測單元包括：

固定在承載部上的第一驅動機構；

固定在所述第一驅動機構的輸出端的方塊電阻測試儀，所述方塊電阻測試儀包括計算單元、本體和設置在所述本體上的至少一個探針，所述第一驅動機構用于驅動所述探針插入所述第一薄膜中；所述計算單元與所述探針連接，當所述探針插入所述第一薄膜中時，所述計算單元計算所述第一薄膜的方塊電阻；

壓力傳感器，用于獲取所述驅動機構施加在所述方塊電阻測試儀上的壓力；

控制單元，與所述第一驅動機構和壓力傳感器連接，用于控制所述第一驅動機構驅動所述探針插入所述第一薄膜中，直至施加在所述方塊電阻測試儀上的壓力為預設壓力；所述控制單元還與所述計算單元連接，用于根據所述第一薄膜的方塊電阻確定所述第一薄膜的厚度；

或者，所述膜厚檢測單元包括：

固定在承載部上的電磁鐵；

固定在所述承載部上的杠桿結構，所述杠桿結構包括杠桿，所述杠桿的一端固定有具有預設重量的砝碼，另一端固定有方塊電阻測試儀，所述方塊電阻測試儀包括計算單元、本體和設置在所述本體上的至少一個探針，所述計算單元與所述探針連接，當所述探針插入所述第一薄膜中時，所述計算單元計算所述第一薄膜的方塊電阻；

控制單元，與所述電磁鐵連接，用于控制所述電磁鐵吸合所述砝碼，當所述電磁鐵不吸合所述砝碼時，在所述砝碼的重力作用下，所述杠桿的所述另一端抬起，使得所述探針插入所述第一薄膜中；所述控制單元還與所述計算單元連接，用于根據所述第一薄膜的方塊電阻確定所述第一薄膜的厚度。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述膜厚測試片設置在所述周邊區域。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述掩膜板包括至少兩個膜厚測試片，所述至少兩個膜厚測試片均勻分布在所述圖形區域的周邊。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸鍍設備還包括：

報警單元；

控制單元，與所述膜厚檢測單元和報警單元連接，當第一薄膜的膜厚達到預設厚度時，所述控制單元控制所述報警單元發出警報。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述存儲腔內設置有承載部，所述掩膜板固定放置在所述承載部上；

所述膜厚檢測單元固定在所述承載部上，并與所述掩膜板的膜厚測試片的位置對應。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述承載部上具有多個支撐塊，所述掩膜板固定放置在所述多個支撐塊上；

所述膜厚檢測單元和支撐塊位于所述承載部的同一側。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述支撐塊上設置有感應單元，用于檢測所述支撐塊上是否放置有掩膜板；

所述支撐塊上還設置有固定部；

所述控制單元與所述感應單元和固定部連接，當所述支撐塊上放置有掩膜板時，所述控制單元控制所述固定部固定所述掩膜板。