[發明專利]用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應用

有效

• 申請號: 201710533744.3
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN107227449B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 井治;劉銳;葛治亮;張超群;王程;王貝;鄧君
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 張新鑫;許亦琳

技術領域

鍍膜裝置本發明涉及一種用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應用，屬于機械領域。

背景技術

鍍膜玻璃是在玻璃表面涂鍍一層或多層金屬、合金或金屬化合物薄膜，以改變玻璃的光學性能，滿足某種特定要求。

其生產方法主要是利用磁控濺射鍍膜設備在玻璃上進行濺射鍍膜。對于磁控濺射鍍膜設備來說，包含許多組成部分，其中最主要的就是鍍膜裝置。鍍膜裝置內部是處在高真空環境中。鍍膜玻璃產品質量的好壞與鍍膜裝置的配置、內部真空環境、工藝氣體穩定性等因素有很大的關系。環境的真空度越高，則鍍膜的效果也越好。

現有技術中存在鍍膜裝置安裝復雜，靈活性差，隔離系數低，真空環境差、冷卻效果低等問題，例如，每個隔離腔室中所要安裝的元件都是固定的，無法隨意的拆分，當整個設備需要有所變化時，則無形中給用戶增加不必要的人力、物力和時間等成本。隔離系數低、真空環境差、冷卻效果低會嚴重影響制備的膜層質量。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應用，用于解決現有技術中鍍膜裝置無法實現隨意安裝隔離腔室中的工作單元、隔離系數低，真空環境差等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，所述鍍膜裝置包括傳輸單元、氣體隔離單元、抽真空單元、冷卻單元、至少3個隔離腔室，以及陰極靶材；

其中3個所述隔離腔室分別為第一隔離腔室，第二隔離腔室、第三隔離腔室，3個所述隔離腔室依次連接，且相鄰的兩個隔離腔室之間互相連通；每個所述隔離腔室下方都設有進片口；每個隔離腔室的頂部都設置可打開的蓋板；每個所述隔離腔室內部的下方設置傳輸單元；所述第一隔離腔室以及所述第三隔離腔室內設置氣體隔離單元；所述第一隔離腔室以及所述第三隔離腔室的蓋板上都設置抽真空單元；所述第二隔離腔室中設置陰極靶材以及冷卻單元。

當有隔離腔室多于3個時，可以將其他的隔離腔室設置在所述的3個隔離腔室之前或者之后，在其他的隔離腔室中可以根據需要而安裝工作單元。

優選地，所述鍍膜裝置還包括前隔離腔室，所述第一隔離腔室連接前置隔離腔室，所述傳輸單元也貫通前隔離腔室。

優選地，所述鍍膜裝置還包括后隔離腔室，所述第三隔離腔室連接后置隔離腔室，所述傳輸單元也貫通后隔離腔室。

優選地，每個所述隔離腔室都是規則的6面體且大小一致。

優選地，每相鄰的兩個隔離腔室之間還設置抽氣孔。

優選地，每個所述蓋板和每個所述隔離腔室之間設有密封圈。

優選地，所述氣體隔離單元包括橫向設置的橫向隔板和縱向設置的縱向隔板，所述橫向隔板位于傳輸單元的上方，所述縱向隔板上端達到隔離腔室的頂部，下端達到橫向隔板。氣體隔離裝置將隔離腔室分為左右兩個完全隔離的空間，能將通入的工藝氣體相對的密封在隔離空間內，阻止工藝氣體間的相互竄動，影響相鄰膜層質量。

優選地，所述傳輸單元采用傳輸輥道，所述輥道包括若干輥子。

優選地，所述輥子之間設置橫截面為T形的T形隔板。

優選地，所述冷卻單元包括設置在第二隔離腔室內下方的冷卻水管道，所述冷卻水管道與外部水源連通。

優選地，所述布水管道采用銅質材料制作，因為銅的導熱性能較好，因此具有較好的傳遞熱量的功能。

優選地，所述傳輸單元為傳輸輥道，所述傳輸輥道包括若干輥子。

優選地，所述輥子之間設置橫截面為T形的T形隔板。

優選地，所述冷卻單元包括設置在第二隔離腔室內下方的冷卻水管道，所述冷卻水管道與外部水源連通。

本發明的另一方面提供了上述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置用于生產鍍膜玻璃的用途。

如上所述，本發明的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應用，具有以下有益效果：

由于每個隔離腔室都是規則的結構，采用標準化設計，因此其內部安裝的結構單元可以隨意的在任何一個隔離腔室內安裝。氣體隔離裝置隔離性能好，隔離系數高，結構簡單。冷卻裝置安裝方便，冷卻效果好，使隔離室內維持在一個恒定的溫度。

附圖說明

圖1顯示為本發明的整體結構示意圖。

元件標號說明

1 前置離腔室

101 抽氣口

102 進片口

2 第一隔離腔室

201 縱向隔板

202 橫向隔板

203 T形隔板

3 第二隔離腔室

4 第三隔離腔室