[發明專利]用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應用

有效

• 申請號: 201710533744.3
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN107227449B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 井治;劉銳;葛治亮;張超群;王程;王貝;鄧君
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 張新鑫;許亦琳

1.一種用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜裝置包括傳輸單元、氣體隔離單元、抽真空單元、冷卻單元、至少3個隔離腔室、以及陰極靶材；

其中3個所述隔離腔室分別為第一隔離腔室，第二隔離腔室、第三隔離腔室，3個所述隔離腔室依次連接，每個隔離腔室的頂部都設置可打開的蓋板；

每個所述隔離腔室的內部的下部都設置傳輸單元，所述傳輸單元貫通所有隔離腔室；

所述第一隔離腔室以及所述第三隔離腔室內設置氣體隔離單元；

所述第一隔離腔室以及所述第三隔離腔室的蓋板上都設置抽真空單元；

所述第二隔離腔室中設置陰極靶材以及冷卻單元。

2.根據權利要求1所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：所述鍍膜裝置還包括前隔離腔室，所述第一隔離腔室連接前置隔離腔室，所述傳輸單元也貫通前隔離腔室。

3.根據權利要求1所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：所述鍍膜裝置還包括后隔離腔室，所述第三隔離腔室連接后置隔離腔室，所述傳輸單元也貫通后隔離腔室。

4.根據權利要求1～3任一項所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：每個所述隔離腔室都是規則的6面體且大小一致。

5.根據權利要求1所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：相鄰的兩個隔離腔室之間還設置抽氣孔，每個所述蓋板和每個所述隔離腔室之間設有密封圈。

6.根據權利要求1所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，所述氣體隔離單元包括橫向設置的橫向隔板和縱向設置的縱向隔板，所述橫向隔板位于傳輸單元的上方，所述縱向隔板上端達到隔離腔室的頂部，下端達到橫向隔板。

7.根據權利要求1所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：所述傳輸單元采用傳輸輥道，所述傳輸輥道包括若干輥子。

8.根據權利要求7所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：所述輥子之間設置橫截面為T形的T形隔板。

9.根據權利要求1所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置，其特征在于：所述冷卻單元包括設置在第二隔離腔室內下方的冷卻水管道，所述冷卻水管道與外部水源連通。

10.如權利要求1～9任一項所述的用于生產鍍膜玻璃的鍍膜裝置用于生產鍍膜玻璃的用途。