[發明專利]一種尾氣處理監控方法及系統

有效

• 申請號: 201710532447.7
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN107289454B
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 沙雙慶;翟云華;趙輝;王艷昌;華濤;汪為剛
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司;南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司;南京華東電子信息科技股份有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;B01D53/14;B01D53/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種尾氣處理監控方法，包括步驟：主設備檢測其當前的設備狀態，并根據當前設備狀態生成對應的狀態信號，并發送所述狀態信號至尾氣處理設備；尾氣處理設備接收所述狀態信號，并根據所述狀態信號啟動相對應的處理模式；尾氣處理設備根據對應的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調整為對應的預設值；尾氣處理設備根據用量為所述預設值的物料對尾氣進行處理。本發明提供一種尾氣處理監控方法及系統，根據主設備的不同設備狀態實現節能處理模式和普通處理模式的切換，來實現更好的控制和節約資源的目的。

技術領域

本發明涉及尾氣處理技術領域，尤其涉及一種尾氣處理監控方法及系統。

背景技術

TFT-LCD制造行業干法刻蝕設備及化學氣相沉積設備等設備因其在制程工藝中會使用到特殊氣體，諸如CF4/SF6/CL2/NF3/N2O等，這些氣體若直接排放至大氣環境中會造成環境污染，按照行業通用做法，會在這兩種主設備系統上增加輔機，即尾氣處理設備，對有害氣體進行分解除害，尾氣處理目前多采用燃燒加水洗的方案，在實際運用中需使用天然氣及水等資源，針對資源節約，現行的節能方案如下：

當尾氣處理設備接收到CF4/SF6/CL2/NF3/N2O信號時，會啟動“高火模式” (額外加入氧氣及天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”，即使用較少天然氣，不使用氧氣。

針對資源節約，現行的節能方案如下：

干法刻蝕設備配套尾氣處理設備代號Atlas，目前節能模式啟用狀況如下：

當Atlas接收到CF4/SF6/CL2信號時，Atlas會啟動“高火模式”(額外加入氧氣及天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”，即使用較少天然氣，不使用氧氣，用于處理尾氣的物料用量具體如表1所示：

表1

模式	天然氣	氧氣	水
高火模式	120slm	150slm	10slm
普通模式	22slm	0slm	10slm

化學氣相沉積設備配套尾氣處理設備代號Neptune，目前節能模式啟用狀況如下：

當Neptune接收到NF3/N2O信號時，Neptune會啟動“高火模式”(額外加入天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”即不使用額外天然氣，用于處理尾氣的物料用量具體如表2所示：

表2