[發明專利]一種尾氣處理監控方法及系統

有效

• 申請號: 201710532447.7
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN107289454B
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 沙雙慶;翟云華;趙輝;王艷昌;華濤;汪為剛
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司;南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司;南京華東電子信息科技股份有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;B01D53/14;B01D53/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種尾氣處理監控方法，適用于TFT-LCD制造行業中，其特征在于，包括步驟：

主設備檢測其當前的設備狀態，并根據當前設備狀態生成對應的狀態信號，并發送所述狀態信號至尾氣處理設備；

尾氣處理設備接收所述狀態信號，并根據所述狀態信號啟動相對應的處理模式；所述設備狀態包括第一狀態和第二狀態；所述狀態信號包括第一狀態信號和第二狀態信號；所述處理模式包括節能處理模式和普通處理模式；

尾氣處理設備根據對應的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調整為對應的預設值，所述預設值包括第一預設值和第二預設值；所述第二預設值大于所述第一預設值；所述第一狀態、所述第一狀態信號、所述節能處理模式以及所述第一預設值分別對應；所述第二狀態、所述第二狀態信號、所述普通處理模式以及所述第二預設值分別對應；

尾氣處理設備根據用量為所述預設值的物料對尾氣進行處理；

其中，主設備包括干法刻蝕設備和化學氣相沉積設備；

對于干法刻蝕設備，判斷其第一狀態的方式為判斷在預設的時間內是否有基板，若在預設的時間內無基板搬入，則說明干法刻蝕設備不生產為待料狀態，即為需要節能處理模式的第一狀態；對于化學氣相沉積設備，判斷其第一狀態的方式為判斷在預設的時間內是否有基板或是否有氣流，若均無，則說明化學氣相沉積設備不生產為待料狀態，即為需要節能處理模式的第一狀態；

所述第二狀態的判斷具體包括：若主設備在預設的時間內接收到有基板搬入，則說明主設備為來料狀態，需要普通處理模式的第二狀態；或者當操作人員手動執行普通處理模式切換時，主設備接收到操作人員輸入的手動信號，主設備為需要普通處理模式的第二狀態；或者檢測是否有預設的需要執行普通處理模式的執行信號，當需要執行操作時，認為其處于第二狀態，且采用普通處理模式。

2.如權利要求1所述的尾氣處理監控方法，其特征在于，所述步驟“主設備檢測其當前的狀態，并根據當前狀態生成對應的狀態信號至尾氣處理設備”進一步包括步驟：

主設備檢測其當前的狀態為第一狀態時，根據所述第一狀態生成對應的第一狀態信號，并發送所述第一狀態信號至尾氣處理設備；

或，

主設備檢測其當前的狀態為第二狀態時，根據所述第二狀態生成對應的第二狀態信號，并發送所述第二狀態信號至尾氣處理設備。

3.如權利要求2所述的尾氣處理監控方法，其特征在于，所述步驟“尾氣處理設備接收所述狀態信號，并根據所述狀態信號啟動相對應的處理模式”進一步包括步驟：

尾氣處理設備接收所述第一狀態信號，并根據所述第一狀態信號啟動相對應的節能處理模式；

或，

尾氣處理設備接收所述第二狀態信號，并根據所述第二狀態信號啟動相對應的普通處理模式。

4.如權利要求1所述的尾氣處理監控方法，其特征在于，所述步驟“尾氣處理設備根據對應的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調整為對應的預設值”進一步包括步驟：

當啟動節能處理模式時，所述預設值為所述第一預設值，尾氣處理設備根據節能處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調整為所述第一預設值；

或,

當啟動普通處理模式時，所述預設值為所述第二預設值，尾氣處理設備根據普通處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調整為所述第二預設值。

5.如權利要求1所述的尾氣處理監控方法，其特征在于，所述步驟“尾氣處理設備接收所述狀態信號，根據所述狀態信號啟動相對應的處理模式”之后還包括步驟：

尾氣處理設備判斷是否完成當前的處理模式啟動；

若是，尾氣處理設備向主設備發送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號。

6.如權利要求5所述的尾氣處理監控方法，其特征在于，還包括步驟：

主設備判斷自發出狀態信號之后的預設時間內是否接收到尾氣處理設備發出的與所述狀態信號對應的啟動完成信號；

若未接收到，主設備發出與狀態信號相對應的啟動錯誤報警信號。