[發(fā)明專利]一種尾氣處理監(jiān)控方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710532447.7
• 申請(qǐng)日: 2017-07-03
• 公開（公告）號(hào): CN107289454B
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沙雙慶;翟云華;趙輝;王艷昌;華濤;汪為剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司;南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司;南京華東電子信息科技股份有限公司
• 主分類號(hào): F23G7/06
• 分類號(hào): F23G7/06;B01D53/14;B01D53/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種尾氣處理監(jiān)控方法，適用于TFT-LCD制造行業(yè)中，其特征在于，包括步驟：

主設(shè)備檢測(cè)其當(dāng)前的設(shè)備狀態(tài)，并根據(jù)當(dāng)前設(shè)備狀態(tài)生成對(duì)應(yīng)的狀態(tài)信號(hào)，并發(fā)送所述狀態(tài)信號(hào)至尾氣處理設(shè)備；

尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號(hào)，并根據(jù)所述狀態(tài)信號(hào)啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的處理模式；所述設(shè)備狀態(tài)包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；所述狀態(tài)信號(hào)包括第一狀態(tài)信號(hào)和第二狀態(tài)信號(hào)；所述處理模式包括節(jié)能處理模式和普通處理模式；

尾氣處理設(shè)備根據(jù)對(duì)應(yīng)的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)值，所述預(yù)設(shè)值包括第一預(yù)設(shè)值和第二預(yù)設(shè)值；所述第二預(yù)設(shè)值大于所述第一預(yù)設(shè)值；所述第一狀態(tài)、所述第一狀態(tài)信號(hào)、所述節(jié)能處理模式以及所述第一預(yù)設(shè)值分別對(duì)應(yīng)；所述第二狀態(tài)、所述第二狀態(tài)信號(hào)、所述普通處理模式以及所述第二預(yù)設(shè)值分別對(duì)應(yīng)；

尾氣處理設(shè)備根據(jù)用量為所述預(yù)設(shè)值的物料對(duì)尾氣進(jìn)行處理；

其中，主設(shè)備包括干法刻蝕設(shè)備和化學(xué)氣相沉積設(shè)備；

對(duì)于干法刻蝕設(shè)備，判斷其第一狀態(tài)的方式為判斷在預(yù)設(shè)的時(shí)間內(nèi)是否有基板，若在預(yù)設(shè)的時(shí)間內(nèi)無基板搬入，則說明干法刻蝕設(shè)備不生產(chǎn)為待料狀態(tài)，即為需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)；對(duì)于化學(xué)氣相沉積設(shè)備，判斷其第一狀態(tài)的方式為判斷在預(yù)設(shè)的時(shí)間內(nèi)是否有基板或是否有氣流，若均無，則說明化學(xué)氣相沉積設(shè)備不生產(chǎn)為待料狀態(tài)，即為需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)；

所述第二狀態(tài)的判斷具體包括：若主設(shè)備在預(yù)設(shè)的時(shí)間內(nèi)接收到有基板搬入，則說明主設(shè)備為來料狀態(tài)，需要普通處理模式的第二狀態(tài)；或者當(dāng)操作人員手動(dòng)執(zhí)行普通處理模式切換時(shí)，主設(shè)備接收到操作人員輸入的手動(dòng)信號(hào)，主設(shè)備為需要普通處理模式的第二狀態(tài)；或者檢測(cè)是否有預(yù)設(shè)的需要執(zhí)行普通處理模式的執(zhí)行信號(hào)，當(dāng)需要執(zhí)行操作時(shí)，認(rèn)為其處于第二狀態(tài)，且采用普通處理模式。

2.如權(quán)利要求1所述的尾氣處理監(jiān)控方法，其特征在于，所述步驟“主設(shè)備檢測(cè)其當(dāng)前的狀態(tài)，并根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)生成對(duì)應(yīng)的狀態(tài)信號(hào)至尾氣處理設(shè)備”進(jìn)一步包括步驟：

主設(shè)備檢測(cè)其當(dāng)前的狀態(tài)為第一狀態(tài)時(shí)，根據(jù)所述第一狀態(tài)生成對(duì)應(yīng)的第一狀態(tài)信號(hào)，并發(fā)送所述第一狀態(tài)信號(hào)至尾氣處理設(shè)備；

或，

主設(shè)備檢測(cè)其當(dāng)前的狀態(tài)為第二狀態(tài)時(shí)，根據(jù)所述第二狀態(tài)生成對(duì)應(yīng)的第二狀態(tài)信號(hào)，并發(fā)送所述第二狀態(tài)信號(hào)至尾氣處理設(shè)備。

3.如權(quán)利要求2所述的尾氣處理監(jiān)控方法，其特征在于，所述步驟“尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號(hào)，并根據(jù)所述狀態(tài)信號(hào)啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的處理模式”進(jìn)一步包括步驟：

尾氣處理設(shè)備接收所述第一狀態(tài)信號(hào)，并根據(jù)所述第一狀態(tài)信號(hào)啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的節(jié)能處理模式；

或，

尾氣處理設(shè)備接收所述第二狀態(tài)信號(hào)，并根據(jù)所述第二狀態(tài)信號(hào)啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的普通處理模式。

4.如權(quán)利要求1所述的尾氣處理監(jiān)控方法，其特征在于，所述步驟“尾氣處理設(shè)備根據(jù)對(duì)應(yīng)的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)值”進(jìn)一步包括步驟：

當(dāng)啟動(dòng)節(jié)能處理模式時(shí)，所述預(yù)設(shè)值為所述第一預(yù)設(shè)值，尾氣處理設(shè)備根據(jù)節(jié)能處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為所述第一預(yù)設(shè)值；

或,

當(dāng)啟動(dòng)普通處理模式時(shí)，所述預(yù)設(shè)值為所述第二預(yù)設(shè)值，尾氣處理設(shè)備根據(jù)普通處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為所述第二預(yù)設(shè)值。

5.如權(quán)利要求1所述的尾氣處理監(jiān)控方法，其特征在于，所述步驟“尾氣處理設(shè)備接收所述狀態(tài)信號(hào)，根據(jù)所述狀態(tài)信號(hào)啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的處理模式”之后還包括步驟：

尾氣處理設(shè)備判斷是否完成當(dāng)前的處理模式啟動(dòng)；

若是，尾氣處理設(shè)備向主設(shè)備發(fā)送與當(dāng)前的處理模式相對(duì)應(yīng)的啟動(dòng)完成信號(hào)。

6.如權(quán)利要求5所述的尾氣處理監(jiān)控方法，其特征在于，還包括步驟：

主設(shè)備判斷自發(fā)出狀態(tài)信號(hào)之后的預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)是否接收到尾氣處理設(shè)備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號(hào)對(duì)應(yīng)的啟動(dòng)完成信號(hào)；

若未接收到，主設(shè)備發(fā)出與狀態(tài)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的啟動(dòng)錯(cuò)誤報(bào)警信號(hào)。