[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶圓凸塊電阻測(cè)試裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710529226.4
• 申請(qǐng)日: 2017-07-01
• 公開（公告）號(hào): CN109212315A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃濤;袁泉;孫健;張慧;朱威莉;韓偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): G01R27/02
• 分類號(hào): G01R27/02;G01R1/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體晶圓凸塊電阻測(cè)試裝置，包括箱蓋和箱體，所述箱體的上端設(shè)置有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)平行布置的滑軌，所述滑軌之間設(shè)置有兩個(gè)平行布置的直尺，所述工作臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有LED燈，所述LED燈的上端設(shè)置有透光板，所述工作臺(tái)的一端側(cè)面嵌入設(shè)置有顯示屏，所述顯示屏的一側(cè)設(shè)置有操作界面，所述箱體上端遠(yuǎn)離顯示屏的一側(cè)設(shè)置有豎直布置的后側(cè)板。本發(fā)明采用活動(dòng)式的測(cè)量架結(jié)構(gòu)，檢測(cè)筒便于旋轉(zhuǎn)收納在箱體中，較少了占用空間，便于操作和攜帶，設(shè)置了夾具式的導(dǎo)電端子，導(dǎo)電端子的彈性結(jié)構(gòu)便于測(cè)量不同的晶圓結(jié)構(gòu)，提高測(cè)量的準(zhǔn)確定，提高工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電阻測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體晶圓凸塊電阻測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

電阻測(cè)試儀，是測(cè)量物體導(dǎo)電性的一種儀器，電阻測(cè)試儀被廣泛的應(yīng)用于電氣安全檢查與接地工程竣工驗(yàn)等場(chǎng)合。電阻測(cè)試儀的種類比較多，包括接地電阻測(cè)試儀、絕緣電阻測(cè)試儀、接地電阻測(cè)試儀、直流電阻測(cè)量?jī)x、表面電阻測(cè)試儀以及回路電阻測(cè)試儀。直流電阻測(cè)試儀是新一代變壓器直流電阻的測(cè)試儀器，它能根據(jù)不同型號(hào)的電力變壓器自動(dòng)選擇測(cè)試電流，以最快的速度顯示測(cè)試結(jié)果。直流電阻測(cè)試儀并且具有存儲(chǔ)、打印、放電指示等功能，內(nèi)置不掉電存儲(chǔ)器，可長(zhǎng)期保存測(cè)量數(shù)據(jù)，液晶顯示器的采用使得該儀器人機(jī)界面良好，是直流電阻測(cè)試工作中的首選設(shè)備。

但是，現(xiàn)有技術(shù)中的電阻測(cè)試儀，特別是用于測(cè)量半導(dǎo)體晶圓凸塊的電阻測(cè)試儀，其結(jié)構(gòu)單一，對(duì)晶圓凸塊的測(cè)試不便于固定和測(cè)量，使用不便，而且傳統(tǒng)的電阻測(cè)試儀體積較大，不便于攜帶，使用操作較為困難，工作效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體晶圓凸塊電阻測(cè)試裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的結(jié)構(gòu)單一，對(duì)晶圓凸塊的測(cè)試不便于固定和測(cè)量，使用不便，而且傳統(tǒng)的電阻測(cè)試儀體積較大，不便于攜帶，使用操作較為困難，工作效率低下的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體晶圓凸塊電阻測(cè)試裝置,包括箱蓋和箱體，所述箱體的上端設(shè)置有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)平行布置的滑軌，所述滑軌之間設(shè)置有兩個(gè)平行布置的直尺，所述工作臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有LED燈，所述LED燈的上端設(shè)置有透光板，所述工作臺(tái)的一端側(cè)面嵌入設(shè)置有顯示屏，所述顯示屏的一側(cè)設(shè)置有操作界面，所述箱體上端遠(yuǎn)離顯示屏的一側(cè)設(shè)置有豎直布置的后側(cè)板，所述后側(cè)板通過(guò)鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)連接有箱蓋，所述箱蓋內(nèi)部位于鉸鏈上端位置處設(shè)置有固定板，所述固定板的中心位置處設(shè)置有立柱，所述立柱上端套有套筒，所述套筒上端設(shè)置有支架，且套筒上端位于支架的一側(cè)設(shè)置有緊固旋鈕，所述支架的另一端設(shè)置有檢測(cè)筒，所述檢測(cè)筒的下端通過(guò)轉(zhuǎn)筒轉(zhuǎn)動(dòng)連接有夾具，所述夾具對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)，且兩個(gè)夾具分別通過(guò)彈簧對(duì)稱連接有兩個(gè)導(dǎo)電端子，所述固定板靠近工作臺(tái)的一側(cè)通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接有固定桿，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有恒流電源，所述恒流電源的一側(cè)設(shè)置有STC89C52RC單片機(jī)，所述STC89C52RC單片機(jī)的一側(cè)設(shè)置有AD9200轉(zhuǎn)換器，所述AD9200轉(zhuǎn)換器的一側(cè)設(shè)置有儲(chǔ)存器，所述LED燈、STC89C52RC單片機(jī)、AD9200轉(zhuǎn)換器、導(dǎo)電端子、顯示屏均與恒流電源電性連接。

進(jìn)一步的，所述檢測(cè)筒垂直于支架設(shè)置，所述支架垂直于立柱設(shè)置，所述立柱垂直于固定板設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述固定桿對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)，且固定桿的長(zhǎng)度與固定板到箱體之間的距離相等。

進(jìn)一步的，所述直尺與滑軌之間垂直設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述支架的長(zhǎng)度小于箱蓋長(zhǎng)度值的一半。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

（1）本發(fā)明采用活動(dòng)式的測(cè)量架結(jié)構(gòu)，檢測(cè)筒便于旋轉(zhuǎn)收納在箱體中，較少了占用空間，便于攜帶，同時(shí)便于操作。

（2）本發(fā)明設(shè)置有夾具式的導(dǎo)電端子，導(dǎo)電端子的彈性結(jié)構(gòu)便于測(cè)量不同的晶圓結(jié)構(gòu)，提高測(cè)量的準(zhǔn)確定，提高工作效率。