[發明專利]一種半導體晶圓凸塊電阻測試裝置

在審

• 申請號: 201710529226.4
• 申請日: 2017-07-01
• 公開（公告）號: CN109212315A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 黃濤;袁泉;孫健;張慧;朱威莉;韓偉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體晶圓凸塊電阻測試裝置,包括箱蓋（3）和箱體（12），其特征在于：所述箱體（12）的上端設置有工作臺（19），所述工作臺（19）的上端對稱設置有兩個平行布置的滑軌（20），所述滑軌（20）之間設置有兩個平行布置的直尺（21），所述工作臺（19）內部設置有LED燈（14），所述LED燈（14）的上端設置有透光板（16），所述工作臺（19）的一端側面嵌入設置有顯示屏（27），所述顯示屏（27）的一側設置有操作界面（26），所述箱體（12）上端遠離顯示屏（27）的一側設置有豎直布置的后側板（10），所述后側板（10）通過鉸鏈（8）轉動連接有箱蓋（3），所述箱蓋（3）內部位于鉸鏈（8）上端位置處設置有固定板（7），所述固定板（7）的中心位置處設置有立柱（4），所述立柱（4）上端套有套筒（5），所述套筒（5）上端設置有支架（2），且套筒（5）上端位于支架（2）的一側設置有緊固旋鈕（6），所述支架（2）的另一端設置有檢測筒（1），所述檢測筒（1）的下端通過轉筒（25）轉動連接有夾具（24），所述夾具（24）對稱設置有兩個，且兩個夾具（24）分別通過彈簧（23）對稱連接有兩個導電端子（22），所述固定板（7）靠近工作臺（19）的一側通過轉軸（9）連接有固定桿（11），所述箱體（12）的內部設置有恒流電源（13），所述恒流電源（13）的一側設置有STC89C52RC單片機（15），所述STC89C52RC單片機（15）的一側設置有AD9200轉換器（17），所述AD9200轉換器（17）的一側設置有儲存器（18），所述LED燈（14）、STC89C52RC單片機（15）、AD9200轉換器（17）、導電端子（22）、顯示屏（27）均與恒流電源（13）電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊電阻測試裝置，其特征在于：所述檢測筒（1）垂直于支架（2）設置，所述支架（2）垂直于立柱（4）設置，所述立柱（4）垂直于固定板（7）設置。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊電阻測試裝置，其特征在于：所述固定桿（11）對稱設置有兩個，且固定桿（11）的長度與固定板（7）到箱體（12）之間的距離相等。

4.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊電阻測試裝置，其特征在于：所述直尺（21）與滑軌（20）之間垂直設置。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊電阻測試裝置，其特征在于：所述支架（2）的長度小于箱蓋（3）長度值的一半。