[發明專利]一種智能型無污染半導體電鍍機

在審

• 申請號: 201710529222.6
• 申請日: 2017-07-01
• 公開（公告）號: CN109208051A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 黃濤;袁泉;孫健;張慧;朱威莉;韓偉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: C25D7/12
• 分類號: C25D7/12;C25D17/06;C25D21/02;C25D21/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種智能型無污染半導體電鍍機，包括底座箱，所述底座箱的一側安裝KS02Y控制器，且底座箱的內部安裝有輸送泵，所述輸送泵的一端安裝有取料管，且輸送泵的另一端安裝有輸送管，所述取料管上設置有第二電磁閥,所述輸送管遠離輸送泵的一端安裝有第一電磁閥和分流管，所述第一電磁閥位于分流管的下方，所述底座箱的上安裝有鼓風機、電鍍原料箱和電鍍箱，所述電鍍原料箱位于電鍍箱的一側，所述電鍍原料箱和電鍍箱均位于鼓風機的一側，所述鼓風機與電鍍箱通過氣體收集管連接，本發明設置了鼓風機和過濾網，能抽離并過濾電鍍箱內電鍍半導體晶圓凸塊時所產生的危害氣體，確保工作人員不會因產生的危害氣體危及身體健康。

技術領域

本發明屬于電鍍機技術領域，具體涉及一種智能型無污染半導體電鍍機。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空蒸發鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機、真空中頻磁控濺射鍍膜機、多功能中頻磁控濺射多弧復合離子鍍膜機、真空光學（電子束蒸發）鍍膜機等系列真空鍍膜設備。。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

但是，目前市場上的電鍍機不僅結構復雜，而且功能單一，沒有設置鼓風機和過濾網，電鍍箱內電鍍半導體晶圓凸塊時所產生的危害氣體，危及工作人員的身體健康，沒有設置上下雙層卡合板，不能充分的對半導體晶圓凸塊電鍍。

發明內容

本發明的目的在于提供一種智能型無污染半導體電鍍機，以解決上述背景技術中提出的沒有設置鼓風機和過濾網，電鍍箱內電鍍半導體晶圓凸塊時所產生的危害氣體，危及工作人員的身體健康，沒有設置上下雙層卡合板，不能充分的對半導體晶圓凸塊電鍍的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種智能型無污染半導體電鍍機，包括底座箱，所述底座箱的一側安裝KS02Y控制器，且底座箱的內部安裝有輸送泵，所述輸送泵的一端安裝有取料管，且輸送泵的另一端安裝有輸送管，所述取料管上設置有第二電磁閥,所述輸送管上遠離輸送泵的一端位置處安裝有第一電磁閥和分流管，所述第一電磁閥位于分流管的下方，所述底座箱的頂端安裝有鼓風機、電鍍原料箱和電鍍箱，所述電鍍原料箱位于電鍍箱的一側，所述電鍍原料箱和電鍍箱均位于鼓風機的一側，所述鼓風機與電鍍箱通過氣體收集管連接，所述氣體收集管的內部靠近鼓風機的一側位置處設置有過濾網，所述電鍍箱外壁遠離電鍍原料箱的一側安裝有壓力表，且電鍍箱的頂部安裝有ORAP-29044距離感應器，所述電鍍箱的內壁一側安裝有正極板，且電鍍箱的內壁一側安裝有負極板，所述電鍍箱的底端設置有兩個卡合板，兩個所述卡合板之間的一端安裝有吸引塊，所述電鍍原料箱的底部安裝有加熱絲和TR02012溫度測量儀，所述TR02012溫度測量儀位于加熱絲的一側，所述加熱絲、TR02012溫度測量儀、第二電磁閥、正極板、負極板、第一電磁閥、輸送泵和鼓風機均與KS02Y控制器電性連接。

優選的，所述電鍍原料箱內壁上設置有軟瓷保溫層。

優選的，所述正極板和負極板均與電鍍箱通過螺栓固定連接。

優選的，所述吸引塊為一種具有吸引鐵磁性材質的構件。

優選的，所述兩個卡合板通過轉軸轉動連接。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明結構科學合理，使用安全方便，

（1）本發明設置了鼓風機和過濾網，能抽離并過濾電鍍箱內電鍍半導體晶圓凸塊時所產生的危害氣體，確保工作人員不會因產生的危害氣體危及身體健康。

（2）本發明設置了上下雙層卡合板，可以確保在卡合板內的電鍍半導體晶圓凸塊在受電鍍液的浮力時不會一直處于液面，可以充分的電鍍半導體晶圓凸塊。

（3）本發明設置了在電鍍原料箱內設置有保溫層，可以使電鍍原料加熱后能長時間保溫，減少能量損失。

附圖說明

圖1為本發明的正面剖視圖；