[發明專利]一種智能型無污染半導體電鍍機在審
| 申請號: | 201710529222.6 | 申請日: | 2017-07-01 |
| 公開(公告)號: | CN109208051A | 公開(公告)日: | 2019-01-15 |
| 發明(設計)人: | 黃濤;袁泉;孫健;張慧;朱威莉;韓偉 | 申請(專利權)人: | 江蘇納沛斯半導體有限公司 |
| 主分類號: | C25D7/12 | 分類號: | C25D7/12;C25D17/06;C25D21/02;C25D21/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 223002 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電鍍 鼓風機 底座箱 輸送泵 原料箱 第一電磁閥 電鍍機 分流管 取料管 輸送管 半導體 半導體晶圓 氣體收集管 內部安裝 控制器 電磁閥 過濾網 抽離 凸塊 過濾 | ||
1.一種智能型無污染半導體電鍍機,包括底座箱(12),其特征在于:所述底座箱(12)的一側安裝KS02Y控制器(13),且底座箱(12)的內部安裝有輸送泵(11),所述輸送泵(11)的一端安裝有取料管(20),且輸送泵(11)的另一端安裝有輸送管(10),所述取料管(20)上設置有第二電磁閥(14),所述輸送管(10)上遠離輸送泵(11)的一端安裝有第一電磁閥(9)和分流管(8),所述第一電磁閥(9)位于分流管(8)的下方,所述底座箱(12)的頂端安裝有鼓風機(17)、電鍍原料箱(16)和電鍍箱(3),所述電鍍原料箱(16)位于電鍍箱(3)的一側,所述電鍍原料箱(16)和電鍍箱(3)均位于鼓風機(17)的一側,所述鼓風機(17)與電鍍箱(3)通過氣體收集管(18)連接,所述氣體收集管(18)的內部靠近鼓風機(17)的一側位置處設置有過濾網(19),所述電鍍箱(3)外壁遠離電鍍原料箱(16)的一側安裝有壓力表(5),且電鍍箱(3)的頂部安裝有ORAP-29044距離感應器(21),所述電鍍箱(3)的內壁一側安裝有正極板(2),且電鍍箱(3)的內壁一側安裝有負極板(4),所述電鍍箱(3)的底端設置有兩個卡合板(7),兩個所述卡合板(7)之間的一端安裝有吸引塊(6),所述電鍍原料箱(16)的底部安裝有加熱絲(15)和TR02012溫度測量儀(1),所述TR02012溫度測量儀(1)位于加熱絲(15)的一側,所述加熱絲(15)、TR02012溫度測量儀(1)、第二電磁閥(14)、正極板(2)、負極板(4)、第一電磁閥(9)、輸送泵(11)和鼓風機(17)均與KS02Y控制器(13)電性連接。
2.根據權利要求1所述的一種智能型無污染半導體電鍍機,其特征在于:所述電鍍原料箱(16)內壁上設置有軟瓷保溫層。
3.根據權利要求1所述的一種智能型無污染半導體電鍍機,其特征在于:所述正極板(2)和負極板(4)均與電鍍箱(3)通過螺栓固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種智能型無污染半導體電鍍機,其特征在于:所述吸引塊(6)為一種具有吸引鐵磁性材質的構件。
5.根據權利要求1所述的一種智能型無污染半導體電鍍機,其特征在于:所述兩個卡合板(7)通過轉軸轉動連接。
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