[發(fā)明專利]基板缺陷檢査裝置和缺陷檢査用靈敏度參數(shù)值調(diào)整方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710526715.4
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN107561872B
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 北田泰裕;葉瀨川泉;富田浩;中山浩介;西山直
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種基板的缺陷檢査裝置，其對(duì)于拍攝作為檢査對(duì)象的基板的整個(gè)表面而獲得的圖像數(shù)據(jù)的各像素值，使用將各位置與像素值的允許范圍相關(guān)聯(lián)的基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)，在各像素值偏離與其位置對(duì)應(yīng)的所述允許范圍時(shí)，將偏離量與作為偏離允許量的靈敏度參數(shù)值進(jìn)行比較，在偏離量超過靈敏度參數(shù)值時(shí)，判斷該基板為缺陷基板，所述基板的缺陷檢査裝置的特征在于，包括：

基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)生成部，其在進(jìn)行所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整時(shí)，生成供調(diào)整后使用的基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)；

用于調(diào)整所述靈敏度參數(shù)值的靈敏度參數(shù)值調(diào)整部；和

虛擬檢査用基板選擇部，其從在進(jìn)行所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整時(shí)以前已檢査過的多個(gè)基板中選擇用于調(diào)整所述靈敏度參數(shù)值的、用于與所述基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行比較而進(jìn)行虛擬檢査的虛擬檢査用的多個(gè)基板，

所述靈敏度參數(shù)值調(diào)整部實(shí)施：

對(duì)于所選擇的虛擬檢査用的基板的各像素值，用所述供調(diào)整后使用的基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)，在各像素值偏離與其位置對(duì)應(yīng)的允許范圍時(shí)，將偏離量和調(diào)整前的靈敏度參數(shù)值進(jìn)行比較的步驟；在偏離量超過該靈敏度參數(shù)值并且所述偏離量與該靈敏度參數(shù)值的差在閾值以下時(shí)，將所述偏離量更新為新的靈敏度參數(shù)值的步驟；和對(duì)所述以前已檢査過的多個(gè)基板的圖像數(shù)據(jù)依次進(jìn)行該操作，并且在作為偏離量的比較對(duì)象的靈敏度參數(shù)值發(fā)生了更新時(shí)使用更新后的靈敏度參數(shù)值，將最后更新了的靈敏度參數(shù)值作為調(diào)整后的靈敏度參數(shù)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部中的步驟。

2.如權(quán)利要求1所述的基板的缺陷檢査裝置，其特征在于：

對(duì)作為檢査對(duì)象的基板的整個(gè)表面進(jìn)行拍攝而獲得的圖像數(shù)據(jù)的各像素值是三原色R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各自的像素值，

基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)是按R、G、B將各位置與像素值的允許范圍相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的基板的缺陷檢査裝置，其特征在于：

所述基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)生成部構(gòu)成為：針對(duì)在進(jìn)行所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整時(shí)以前已檢査過的多個(gè)基板的每一個(gè)，利用澤爾尼克函數(shù)分解像素的平面分布而取得澤爾尼克系數(shù)，針對(duì)各基板的相同的澤爾尼克系數(shù)，選擇與該多個(gè)基板的平均值之間的偏離小于預(yù)先設(shè)定的偏離度的基板組，基于所選擇的基板組生成基準(zhǔn)像素?cái)?shù)據(jù)。

4.如權(quán)利要求1或2所述的基板的缺陷檢査裝置，其特征在于：

所述虛擬檢査用基板選擇部構(gòu)成為：針對(duì)在進(jìn)行所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整時(shí)以前已檢査過的多個(gè)基板的每一個(gè)，利用澤爾尼克函數(shù)分解像素的平面分布而取得澤爾尼克系數(shù)，針對(duì)各基板的作為相同的澤爾尼克系數(shù)的特征點(diǎn)，選擇與該多個(gè)基板的平均值之間的偏離大于預(yù)先設(shè)定的偏離度的基板組。

5.如權(quán)利要求4所述的基板的缺陷檢査裝置，其特征在于，包括：

監(jiān)視部，其在進(jìn)行了所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整后，針對(duì)實(shí)際被檢査的檢査對(duì)象的基板，利用澤爾尼克函數(shù)分解像素的平面分布而取得作為澤爾尼克系數(shù)的特征點(diǎn)，監(jiān)視該特征點(diǎn)是否從閾值偏離，基于該監(jiān)視結(jié)果，決定所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整時(shí)機(jī)；和

生成所述監(jiān)視部所使用的監(jiān)視用閾值的監(jiān)視用閾值生成部，

所述監(jiān)視用閾值生成部在進(jìn)行所述靈敏度參數(shù)值的調(diào)整時(shí)進(jìn)行的虛擬檢査時(shí)，針對(duì)所述選擇的虛擬檢査用的基板，在不偏離所述允許范圍、或者即使偏離所述偏離量也不超過所述靈敏度參數(shù)值、或者所述偏離量與該靈敏度參數(shù)值的差在所述閾值以下的情況下，將該基板的所述特征點(diǎn)作為所述監(jiān)視用閾值的候選值，并且對(duì)所述選擇的虛擬檢査用的基板依次進(jìn)行該操作，決定最終獲得的候選值作為所述監(jiān)視用閾值。

6.如權(quán)利要求1或2所述的基板的缺陷檢査裝置，其特征在于：

所述靈敏度參數(shù)值根據(jù)基板的區(qū)域決定。