[發(fā)明專利]一種用于卷對卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測試裝置

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• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN109211956A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 賴運子;趙岳;申緒男;劉帥奇;喬在祥
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十八研究所
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 李鳳

本發(fā)明公開了一種用于卷對卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測試裝置，包括：蒸發(fā)腔室和真空腔室；真空腔室內設置有水冷板和卷繞機構，蒸發(fā)腔室內的卷繞薄膜出來后進入真空腔室內的卷繞機構；其特征在于：真空腔室內安裝有對卷繞薄膜進行在線檢測的X射線熒光光譜分析裝置裝置；X射線熒光光譜分析裝置裝置包括X光源和X光檢測器；X光檢測器位于X光的反射光路中，反射光路為X光源發(fā)出的光束通過卷繞薄膜后的反射光路；X光源通過放大器與接收終端進行數據交互。本發(fā)明能夠對卷繞薄膜成分進行實時監(jiān)控，可及時通過對各蒸發(fā)源蒸發(fā)功率的改變實現對偏離預想值的各組分進行調整，適用于工業(yè)化長時間連續(xù)制備CIGS吸收層。

技術領域

本發(fā)明涉及太陽電池測試裝置領域，特別是涉及一種用于卷對卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測試裝置。

背景技術

CIGS吸收層中各元素所占比例對電池效率具有顯著影響，而適合于制備高效CIGS太陽電池吸收層的元素構成只允許其在小范圍內波動。在工業(yè)化卷對卷生產CIGS過程中，隨著制備時間的延長，各蒸發(fā)源物料量減少后各蒸發(fā)源蒸發(fā)量會隨之變化。目前測量在真空腔室中卷對卷制備CIGS組分的方法，一般是在實驗結束之后開腔取樣再進行測量，這樣無法在實驗過程中收集實驗各組分信息，不能及時對實驗條件進行調整，造成物料浪費，降低實驗的質量和效率。為了保證產線的成品率和生產效率，需要在實驗過程中及時對工藝進行調整，由此，安裝在線成分檢測設備尤為必要。

發(fā)明內容

本發(fā)明要解決的技術問題是：提供一種用于卷對卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測試裝置在線XRF裝置安裝在卷對卷制備CIGS太陽電池吸收層的真空腔室中，當薄膜不斷卷繞時，XRF設備可不斷測量薄膜卷過處的CIGS各個組分，由此實現成分實時在線監(jiān)測作用。

本發(fā)明為解決公知技術中存在的技術問題所采取的技術方案是：

一種用于卷對卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測試裝置，包括：蒸發(fā)腔室(2)和真空腔室；在所述真空腔室內設置有水冷板和卷繞機構，蒸發(fā)腔室(2)內的卷繞薄膜(1)出來后進入真空腔室內的卷繞機構；在所述真空腔室內安裝有對卷繞薄膜(1)進行在線檢測的X射線熒光光譜分析裝置裝置；所述X射線熒光光譜分析裝置裝置包括X光源和X光檢測器(8)；所述X光檢測器(8)位于X光的反射光路中，所述反射光路為X光源發(fā)出的光束通過卷繞薄膜(1)后的反射光路；所述X光檢測器(8)的輸出信號通過放大器與接收終端進行數據交互。

作為優(yōu)選，本發(fā)明還采用了如下的技術方案：

進一步：所述X光源發(fā)生器和X光檢測器封裝于不銹鋼擋板(9)制成的密封腔室內，在所述密封腔的外壁開設有X光線通過的光闌；在所述光闌位置安裝有有機玻璃窗口(10)。

進一步：在所述密封腔的外壁設置有多針角航空插頭(6)；所述放大器的輸出信號通過多針角航空插頭(6)與接收終端進行數據交互。

更進一步：所述接收終端包括多道脈沖分析器和計算機。

更進一步：所述水冷板有兩個。

更進一步：所述X光源發(fā)生器的出光點與被測點的位置小于1cm。

更進一步：所述X光源發(fā)生器包括高壓電源和X光管(7)。

本發(fā)明具有的優(yōu)點和積極效果是：

通過采用上述技術方案，本發(fā)明能夠對卷繞薄膜成分進行實時監(jiān)控，可及時通過對各蒸發(fā)源蒸發(fā)功率的改變實現對偏離預想值的各組分進行調整，適用于工業(yè)化長時間連續(xù)制備CIGS吸收層。同時，運用不銹鋼擋板和有機玻璃等材料，可集成在蒸發(fā)腔室中，節(jié)約空間，且不影響腔室真空度。

附圖說明

圖1是本發(fā)明優(yōu)選實施例的結構圖；

圖2是本發(fā)明優(yōu)選實施例中X射線熒光光譜分析裝置的結構圖；