[發(fā)明專利]一種用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710524641.0
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN109211956A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賴運(yùn)子;趙岳;申緒男;劉帥奇;喬在祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十八研究所
• 主分類號(hào): G01N23/223
• 分類號(hào): G01N23/223
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 12101
• 代理人: 李鳳

1.一種用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，包括：蒸發(fā)腔室(2)和真空腔室；在所述真空腔室內(nèi)設(shè)置有水冷板和卷繞機(jī)構(gòu)，蒸發(fā)腔室(2)內(nèi)的卷繞薄膜(1)出來后進(jìn)入真空腔室內(nèi)的卷繞機(jī)構(gòu)；其特征在于：在所述真空腔室內(nèi)安裝有對(duì)卷繞薄膜(1)進(jìn)行在線檢測(cè)的X射線熒光光譜分析裝置裝置；所述X射線熒光光譜分析裝置裝置包括X光源和X光檢測(cè)器(8)；所述X光檢測(cè)器(8)位于X光的反射光路中，所述反射光路為X光源發(fā)出的光束通過卷繞薄膜(1)后的反射光路；所述X光檢測(cè)器(8)的輸出信號(hào)通過放大器與接收終端進(jìn)行數(shù)據(jù)交互。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，其特征在于：所述X光源和X光檢測(cè)器封裝于不銹鋼擋板(9)制成的密封腔室內(nèi)，在所述密封腔室的外壁開設(shè)有X光線通過的光闌；在所述光闌位置安裝有有機(jī)玻璃窗口(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，其特征在于：在所述密封腔室的外壁設(shè)置有多針角航空插頭(6)；所述放大器的輸出信號(hào)通過多針角航空插頭(6)與接收終端進(jìn)行數(shù)據(jù)交互。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，其特征在于：所述接收終端包括多道脈沖分析器和計(jì)算機(jī)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，其特征在于：所述水冷板有兩個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，其特征在于：所述X光源發(fā)生器的出光點(diǎn)與被測(cè)點(diǎn)的位置小于1cm。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于卷對(duì)卷連續(xù)制備CIGS的成分在線測(cè)試裝置，其特征在于：所述X光源發(fā)生器包括高壓電源和X光管(7)。