[發(fā)明專利]進(jìn)氣管路及半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710524031.0
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN109210374B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉建;張宇;李一成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): F17D1/02
• 分類號(hào): F17D1/02
• 代理公司: 北京薈英捷創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11726
• 代理人: 陳亞英

1.一種進(jìn)氣管路，包括主路管道和與之連接的第一支路管道，所述第一支路管道用于傳輸高沸點(diǎn)氣體，其特征在于，在所述主路管道的內(nèi)壁上，且位于與所述第一支路管道的交匯處設(shè)置有混氣結(jié)構(gòu)，用以減小所述主路管道在所述交匯處的橫截面積，降低所述交匯處的氣體壓力；所述混氣結(jié)構(gòu)包括第一凸部和/或兩個(gè)第二凸部，其中，所述第一凸部設(shè)置在所述主路管道的內(nèi)壁上，且與所述第一支路管道的出氣端相對(duì)；兩個(gè)所述第二凸部設(shè)置在所述主路管道的內(nèi)壁上，且位于所述第一支路管道的出氣端所在一側(cè)，并且兩個(gè)所述第二凸部分別位于所述第一支路管道的出氣端邊緣的兩側(cè)；所述第一凸部的外表面為圓弧面，并且所述第一凸部的厚度自所述第一支路管道的中心向兩側(cè)的邊緣逐漸變小；所述第二凸部的外表面為圓弧面，并且所述第二凸部的厚度自所述第一支路管道的邊緣向該邊緣的外側(cè)逐漸減小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣管路，其特征在于，所述主路管道在所述交匯處的橫截面積的減小量占所述主路管道的原始橫截面積的25％～95％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣管路，其特征在于，所述進(jìn)氣管路還包括一條或多條第二支路管道，且多條第二支路管道相互并聯(lián)，并且每條所述第二支路管道與所述主路管道連接，且與所述第一支路管道相互并聯(lián)；沿所述主路管道內(nèi)的氣體流動(dòng)方向，所述第一支路管道位于所有所述第二支路管道的下游。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣管路，其特征在于，在所述主路管道的外圍套設(shè)有套管，所述套管與所述主路管道之間形成封閉的環(huán)形通道；通過向所述環(huán)形通道內(nèi)輸入熱交換媒介，來控制所述主路管道內(nèi)的氣體溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的進(jìn)氣管路，其特征在于，所述主路管道內(nèi)的氣體溫度的取值范圍在-60～60℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣管路，其特征在于，在所述第一支路管道的外壁上套設(shè)有加熱管，用于控制所述第一支路管道內(nèi)的氣體溫度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的進(jìn)氣管路，其特征在于，所述第一支路管道內(nèi)的氣體溫度的取值范圍在20～70℃。

8.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括反應(yīng)腔室和用于向所述反應(yīng)腔室內(nèi)輸送工藝氣體的進(jìn)氣管路，其特征在于，所述進(jìn)氣管路采用權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的進(jìn)氣管路。