[發明專利]冷板及其制備方法、干燥設備、OLED面板的制備方法

在審

• 申請號: 201710523644.2
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN109216573A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 施槐庭;廖金龍;王輝鋒
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅瑞芝;陳源

本發明提供一種冷板及其制備方法、干燥設備、OLED面板的制備方法。該冷板包括基底，基底的第一側面用于面對基板上的膜層，第一側面上設置有槽狀溶劑吸納結構，溶劑吸納結構能吸納膜層中蒸發出的溶劑。該冷板能夠限制冷凝后的溶劑在冷板上方的移動流淌，從而限制溶劑在第一側面上的匯聚，進而使膜層中蒸發出的溶劑能夠在第一側面上分布均勻，從而使膜層在干燥過程中基板與冷板之間的溶劑氛圍保持一致，進而使干燥后的膜層表面形態趨于一致，最終使顯示器件的顯示效果更加均勻。

技術領域

本發明涉及移動設備技術領域，具體地，涉及一種冷板及其制備方法、干燥設備、OLED面板的制備方法。

背景技術

有機電致發光器件(OLED)相對于LCD具有自發光、反應快、視角廣、亮度高、色彩艷、輕薄等優點，被認為是下一代顯示技術。

OLED的成膜方式主要有蒸鍍制程和溶液制程。蒸鍍制程在小尺寸應用較為成熟，目前該技術已經應用于量產中。而溶液制程主要有噴墨打印、噴嘴涂覆、旋涂、絲網印刷等OLED成膜方式，其中噴墨打印技術由于其材料利用率較高、可以實現大尺寸化，被認為是大尺寸OLED實現量產的重要方式。

噴墨打印的OLED器件，OLED薄膜在像素內的厚度均勻性非常重要，它對OLED器件的壽命和效率有重要影響。要在像素內獲得平坦的形貌需要使噴墨打印形成的OLED薄膜在特定的壓強下干燥，然而由于大尺寸基板邊緣墨滴和中央墨滴所處的溶劑氛圍差異，通常使基板邊緣墨滴干燥快，中間墨滴干燥慢，導致墨滴干燥后形成橢圓形干燥陰影；另外，多次打印時間差所導致的各次打印形成的OLED薄膜部分之間的拼縫，導致基板上像素內OLED薄膜的表面形態存在差異，從而影響整個OLED顯示屏發光的均勻性。

目前噴墨打印工藝如下：噴墨打印工藝分為打印工藝、真空干燥工藝、烘干工藝。其中真空干燥工藝對OLED薄膜最后的形貌有重要影響。如圖1所示，真空干燥工藝通過在基板1上方放一冷板5方式，用來捕獲從基板1上OLED薄膜中蒸發出的墨滴溶劑8，并在冷板5上方進行冷凝。具體操作是打印墨滴后的基板1放在熱板7上方后冷板5向下靠近基板1到合適的高度；真空系統開始抽真空到特定壓力，熱板7開始加熱；基板1上墨滴中的溶劑8開始揮發并逐漸被冷板捕獲，從而整個基板1處在特定溫度和壓力下的飽和蒸汽壓中；由于熱板7溫度高，冷板5溫度低，基板1上墨滴中的溶劑8會慢慢揮發干。

冷板上墨滴溶劑存貯到一定程度后，需要做清潔動作，用來保證墨滴溶劑不會集聚過多而污染基板，如出現溶劑掉落現象。維護操作是在高真空并加熱的情況下除去冷板上吸附的墨滴溶劑。維護操作一般干燥幾片基板后進行一次，甚至安全考慮會每片基板干燥完畢后都進行一次。

但現有的冷板存在以下問題：如圖1所示，第一：墨滴溶劑8在冷板5上冷凝后，由于重力作用和溶劑8的流淌性，溶劑8容易在冷板5上聚集，從而形成溶劑8團聚現象。團聚結果容易造成溶劑8在冷板5上分布不均，從而導致熱板7和冷板5之間溶劑8氛圍不一致，進而導致基板1上OLED薄膜(即有機電致發光膜層6)的表面形態存在差異，大量團聚溶劑8甚至容易造成溶劑8跌落污染基板1現象；第二：冷板5表面平整，冷板5表面能存貯的溶劑量十分有限，這使冷板5的維護操作頻率過高，不利于生產節拍縮短，且影響產能。

因此，如何在熱板和冷板之間形成一致的溶劑氛圍，以使噴墨打印形成的OLED薄膜的表面形態趨于一致已成為目前亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明針對現有技術中存在的上述技術問題，提供一種冷板及其制備方法、干燥設備、OLED面板的制備方法。該冷板能夠限制冷凝后的溶劑在冷板上方的移動流淌，從而限制溶劑在第一側面上的匯聚，進而使膜層中蒸發出的溶劑能夠在第一側面上分布均勻，從而使膜層在干燥過程中基板與冷板之間的溶劑氛圍保持一致，進而使干燥后的膜層表面形態趨于一致，消除了采用該膜層的顯示器件由于膜層表面形態差異所導致的顯示陰影，最終使顯示器件的顯示效果更加均勻。