[發明專利]一種可移動充氣式密封裝置及其使用方法

有效

• 申請號: 201710519198.8
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN109216225B
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 張建
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F16J15/48
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種可移動充氣式密封裝置，其特征在于：包括充氣式密封圈(1)、密封圈固定槽(2)、密封裝置安裝鈑金(4)、充氣系統及排氣系統，其中密封裝置整體通過密封裝置安裝鈑金(4)安裝在移動工藝站(A)朝向固定工藝站(B)的一側表面，該移動工藝站(A)與固定工藝站(B)可相對移動地連接；所述密封裝置安裝鈑金(4)設有所述密封圈固定槽(2)，所述充氣式密封圈(1)容置于密封圈固定槽(2)中，該充氣式密封圈(1)上設有充氣嘴(6)，所述充氣嘴(6)在充氣時與充氣系統相連通，處于充氣狀態的充氣式密封圈(1)的上表面膨脹高出所述密封圈固定槽(2)，與所述固定工藝站(B)密封抵接，所述充氣嘴(6)在排氣時與所述排氣系統相連通，處于排氣狀態的充氣式密封圈(1)的上表面低于所述密封圈固定槽(2)，所述移動工藝站(A)可相對固定工藝站(B)進行抽拉移動；

所述充氣系統包括安裝面板(7)及分別安裝在該安裝面板(7)上的減壓閥A(8)、壓力表A(9)、減壓閥B(10)、壓力表B(11)、電磁閥A(16)和三通氣控閥A(14)，廠務壓縮空氣分為兩路，第一路通過所述減壓閥A(8)和壓力表A(9)接至電磁閥A(16)，第二路通過所述減壓閥B(10)和壓力表B(11)接至三通氣控閥A(14)的第一個接口，該三通氣控閥A(14)的第二個接口與所述充氣式密封圈(1)的充氣嘴(6)直連，所述電磁閥A(16)與三通氣控閥A(14)的第三個接口相連、進而控制三通氣控閥A(14)的通斷，調節減壓閥B(10)，使壓力表B(11)示數為設定值，通過所述電磁閥A(16)實現三通氣控閥A(14)與第二路壓縮空氣接通，完成充氣動作；

所述排氣系統包括安裝面板(7)及分別安裝在該安裝面板(7)上的減壓閥A(8)、壓力表A(9)、減壓閥B(10)、壓力表B(11)、電磁閥A(16)、電磁閥B(17)、三通氣控閥A(14)、三通氣控閥B(12)、真空發生器(13)和消音器(15)，廠務壓縮空氣分為兩路，第一路通過所述減壓閥A(8)和壓力表A(9)接至電磁閥B(17)，第二路通過所述減壓閥B(10)和壓力表B(11)接至三通氣控閥B(12)的第一個接口，該三通氣控閥B(12)的第二個接口與所述真空發生器(13)的第一個接口相連，真空發生器(13)的第二個接口與三通氣控閥A(14)的第一個接口相連，該三通氣控閥A(14)的第二個接口與所述充氣式密封圈(1)的充氣嘴(6)直連，三通氣控閥A(14)的第三個接口與電磁閥A(16)相連，所述真空發生器(13)的第三個接口通過消音器(15)直接與大氣相連通，所述三通氣控閥B(12)的第三個接口與電磁閥B(17)相連、并由該電磁閥B(17)控制通斷；通過所述電磁閥A(16)及電磁閥B(17)的動作，三通氣控閥A(14)與第二路壓縮空氣斷開、不再進行充氣動作，同時，所述三通氣控閥B(12)使得第二路壓縮空氣與真空發生器(13)相連，第二路壓縮空氣直接通過所述消音器(15)連大氣，進而形成負壓，完成對所述充氣式密封圈(1)的排氣動作。

2.根據權利要求1所述的可移動充氣式密封裝置，其特征在于：所述充氣式密封圈(1)為環形，其高度方向截面在不充氣狀態呈“凹”字形，即高度方向截面的上表面為褶皺狀、中間向內凹陷；所述充氣式密封圈(1)處于充氣狀態時，高度方向截面的上表面凹陷的褶皺膨脹鼓起、高出所述密封圈固定槽(2)，與所述固定工藝站(B)密封抵接。

3.根據權利要求2所述的可移動充氣式密封裝置，其特征在于：所述充氣式密封圈(1)高度方向截面的左右兩側表面及下表面均為平面，下表面與所述密封圈固定槽(2)粘接固定。

4.根據權利要求1所述的可移動充氣式密封裝置，其特征在于：所述充氣嘴(6)的一端通過螺紋與充氣式密封圈(1)連接，另一端通過快換接頭與所述充氣系統或排氣系統連接。