[發(fā)明專利]一種制絨清洗機(jī)及水循環(huán)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710512452.1
• 申請(qǐng)日: 2017-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107195730B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申澍昕;李澤天;劉躍進(jìn);陳莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 太倉(cāng)市哲泰天產(chǎn)品設(shè)計(jì)有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 楊帆

1.一種制絨清洗機(jī)，包括上料裝置、下料裝置、制絨槽、堿槽、酸槽、水槽和吹干槽，其特征在于，所述制絨槽和所述堿槽之間設(shè)置所述水槽，所述堿槽和所述酸槽之間設(shè)置所述水槽，所述酸槽和所述吹干槽之間設(shè)置所述水槽，所述制絨槽的前端設(shè)置所述上料裝置，所述吹干槽的后端設(shè)置所述下料裝置；

所述水槽包括槽體、水刀、傳送管組和接水盤，其中，所述傳送管組設(shè)置在所述槽體內(nèi)，并在所述傳送管組上方和下方設(shè)置所述水刀，所述水刀至少設(shè)置三組，在前端所述水刀下方設(shè)置有所述接水盤；

所述水刀包括水刀管和噴射噴嘴，所述噴射噴嘴設(shè)置在所述水刀管上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，所述槽體的側(cè)壁上設(shè)置溢水口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，所述槽體上還開(kāi)設(shè)有進(jìn)水口，所述酸槽后端的所述水槽的所述溢水口通過(guò)水管與所述堿槽后端的所述水槽的所述進(jìn)水口連接，所述堿槽后端的所述水槽的所述溢水口與所述制絨槽后端的所述水槽的所述進(jìn)水口連接，所述制絨槽的所述溢水口與外部連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，在所述傳送管組的進(jìn)料端和出料端的上方分別設(shè)置所述上壓輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，所述噴射噴嘴為圓錐形噴嘴、扇形噴嘴、棒形噴嘴中的任意一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，所述噴射噴嘴的口徑為0.5-1.5mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，還包括過(guò)濾裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，所述噴射噴嘴處的水壓為3-4Mpa。

9.根據(jù)權(quán)利要求2-8所述的一種制絨清洗機(jī)的一種水循環(huán)方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)清洗機(jī)的所述水槽的前端和中端所述水刀通過(guò)泵將所述槽體內(nèi)的水供給，后端所述水刀通過(guò)外部供應(yīng)干凈水。

2)前端所述水刀對(duì)硅片進(jìn)行清洗后的水直接通過(guò)所述接水盤排出單獨(dú)收集，中端和后端所述水刀清洗后的水回到所述槽體內(nèi)，后端所述水刀清洗后的水流到所述槽體內(nèi)，所述槽體內(nèi)多余的水通過(guò)所述溢水口排出。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種制絨清洗機(jī)，其特征在于，步驟2中，所述酸槽后端的所述水槽的所述溢水口通過(guò)水管將多余的液體傳送到所述堿槽后端的所述水槽內(nèi)，所述堿槽后端的所述水槽的所述溢水口通過(guò)水管將多余的液體傳送到所述制絨槽后端的所述水槽內(nèi)，所述制絨槽的所述溢水口再將其所述水槽內(nèi)多余的水排出收集。