[發明專利]一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法及裝置有效
| 申請號： | 201710506837.7 | 申請日： | 2017-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN107356595B | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發明（設計）人： | 龔成波 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/84 | 分類號： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 鐘子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 pi 管路 氣泡 方法 裝置 | ||
1.一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法，其特征在于，所述方法包括：
在高壓泵與涂布噴嘴之間的供液主管路上設置一檢測支管路，且在所述檢測支管路的另一端連接一氣泡監控裝置；
所述氣泡監控裝置對進入其中的原料液中的氣泡體積進行放大，并檢測所述原料液中含有氣泡的數量和尺寸分布；其中，對所述原料液含有的氣泡進行體積放大的方式為加熱和/或減壓。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述加熱方式為水浴加熱、電熱絲加熱或微波加熱中的一種或多種。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述減壓方式為通過真空泵抽真空。
4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述氣泡監控裝置通過光電傳感器檢測原料液中含有氣泡的數量和尺寸分布。
5.一種檢測PI涂裝管路中氣泡的裝置，其特征在于，包括一氣泡監控裝置和用于將主管路中的原料液引入其中的檢測支管路，所述氣泡監控裝置包括與所述檢測支管路連接的氣泡監控容器、位于所述氣泡監控容器內或外的氣泡放大器和位于所述氣泡監控容器內的氣泡檢測器；其中，所述氣泡放大器包括加熱裝置和/或減壓裝置。
6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述檢測支管路與供液主管路的連接點與涂布噴嘴之間的距離為5-15cm。
7.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述氣泡監控容器為透明材質，且其容積為涂布一張基板所需原料液體積的整數倍。
8.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述氣泡檢測器包括一光電傳感器和一數據傳輸器。
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