[發明專利]一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法及裝置有效
| 申請號: | 201710506837.7 | 申請日: | 2017-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN107356595B | 公開(公告)日: | 2020-03-31 |
| 發明(設計)人: | 龔成波 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/84 | 分類號: | G01N21/84 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 鐘子敏 |
| 地址: | 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 檢測 pi 管路 氣泡 方法 裝置 | ||
本發明公開了一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法及裝置,其中方法包括:在高壓泵與涂布噴嘴之間的供液主管路上設置一檢測支管路,且在所述檢測支管路的另一端連接一氣泡監控裝置;所述氣泡監控裝置對進入其中的原料液中的氣泡體積進行放大,并檢測所述原料液中含有氣泡的數量和尺寸分布。通過上述方式,本發明能夠對管路中原料液中氣泡的數量和尺寸分別進行準確測量,并將小氣泡與尺寸相近的固體顆粒進行區分,便于用戶對原料液中氣泡的數量和尺寸分布進行實時監控,以提高產品質量。
技術領域
本發明涉及管路氣泡檢測領域,特別是涉及一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法及裝置。
背景技術
PI涂裝工藝是AMOLED的核心工藝之一,也是影響產品質量的關鍵因素。而影響PI涂裝工藝效果的因素一方面是涂裝原料液中的氣泡,另一方面是涂裝原料液中的固體顆粒,且涂裝原料液中的氣泡對產品質量影響更加顯著。這是因為,氣泡混在原料液中不僅會顯著降低PI膜的強度和性能,還會給后續工藝帶來困擾。
現有的PI涂裝工藝中,在原料罐中進行攪拌脫泡,在黏度范圍在3000~7000CP的原料液通過高壓泵運輸到涂布噴嘴的過程中,只在供液主管路中設置壓力傳感器對原料液中氣泡泡進行檢測,但通過管路中壓力的變化檢測氣泡的方法檢測靈敏度差,對于不會引起管路中壓力變化的小氣泡根本無法被檢測到;而采用光電傳感器對氣泡進行檢測時,無法將小氣泡與尺寸相近的固體顆粒進行區分。因此,現有技術有待進一步改進。
發明內容
本發明主要解決的技術問題是提供一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法及裝置,能夠解決現有的PI涂裝中無法對原料液中的氣泡數量和尺寸分布進行準確檢測的問題。
為解決上述技術問題,本發明采用的一個技術方案是:提供一種檢測PI涂裝管路中氣泡的方法。
其中,在高壓泵與涂布噴嘴之間的供液主管路上設置一檢測支管路,且在所述檢測支管路的另一端連接一氣泡監控裝置;
所述氣泡監控裝置對進入其中的原料液中的氣泡體積進行放大,并檢測所述原料液中含有氣泡的數量和尺寸分布。
其中,對所述原料液含有的氣泡進行體積放大的方式為加熱和/或減壓。
其中,所述加熱方式為水浴加熱、電熱絲加熱或微波加熱中的一種或多種。
其中,所述減壓方式為通過真空泵抽真空。
其中,所述氣泡監控裝置通過光電傳感器檢測原料液中含有氣泡的數量和尺寸分布。
為解決上述技術問題,本發明采用的另一個技術方案是:提供一種檢測PI涂裝管路中氣泡的裝置。
其中,包括一氣泡監控裝置和用于將主管路中的原料液引入其中的檢測支管路,所述氣泡監控裝置包括與所述檢測支管路連接的氣泡監控容器、位于所述氣泡監控容器內或外的氣泡放大器和位于所述氣泡監控容器內的氣泡檢測器。
其中,所述檢測支管路與供液主管路的連接點與涂布噴嘴之間的距離為5-15cm。。
其中,所述氣泡監控容器為透明材質,且其容積為涂布一張基板所需原料液體積的整數倍。
其中,所述氣泡放大器包括加熱裝置和/或減壓裝置。
其中,所述氣泡檢測器包括一光電傳感器和一數據傳輸器。
本發明的有益效果是:本發明通過一檢測支管路將供液主管路中的原料液引入到氣泡監控裝置中,并在氣泡監控裝置中對原料液中的氣泡進行體積放大,并對放大后氣泡的數量和尺寸分布進行檢測。通過將氣泡進行放大,能夠對原料液中的氣泡數量和尺寸進行準確檢測,有效防止小氣泡漏檢以及無法區分小氣泡和固體顆粒對產品質量控制的不利影響。
附圖說明
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