[發(fā)明專利]蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710505480.0
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN107267919B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余威
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本發(fā)明公開了一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，包括頂面開口的加熱容器以及蓋設(shè)于所述加熱容器開口的第一擋板和第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板上分別開設(shè)有貫穿孔；所述第一擋板和所述第二擋板可相對滑動(dòng)，使二者上的貫穿孔在至少兩個(gè)不同的配合位置配合形成連通所述加熱容器的蒸鍍通道。本發(fā)明通過在裝有有機(jī)發(fā)光電致材料的加熱容器的開口處蓋設(shè)有第一擋板和第二擋板，可以通過第一擋板和第二擋板的移動(dòng)而使二者配合形成不同的蒸鍍通道，可在不打開真空腔體的情況下更換蒸鍍通道，很好地解決了蒸鍍過程中有機(jī)發(fā)光電致材料堵孔的問題，提高了產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種有機(jī)電致發(fā)光器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置。

背景技術(shù)

OLED(即有機(jī)電致發(fā)光器件)顯示器是新一代的顯示器，通過在OLED基板上制作有機(jī)薄膜，并且其中的有機(jī)薄膜被包夾設(shè)在陰極和陽極金屬或?qū)щ妼又g，給兩電極施加電壓后，有機(jī)薄膜則會發(fā)光。相對于液晶顯示器而言，OLED顯示器有自發(fā)光、響應(yīng)快、視角廣、色彩飽和等許多優(yōu)點(diǎn)，近幾年OLED產(chǎn)業(yè)化速度突飛猛進(jìn)。

目前制備OLED顯示器件主流的方式是真空熱蒸鍍，即在真空腔體內(nèi)使用坩堝加熱OLED有機(jī)材料。現(xiàn)有的用于加熱OLED材料的坩堝包括坩堝本體及蓋在坩堝本體開口端的坩堝蓋子，坩堝蓋子上設(shè)置有蒸鍍孔。坩堝本體用于容納OLED有機(jī)材料，以對OLED材料加熱，使之在一定溫度下升華或蒸發(fā)，然后透過蒸鍍孔沉積在上方的基板上，形成有機(jī)薄膜。

在OLED材料蒸鍍過程中，由于蒸鍍出的有機(jī)物為蓬松結(jié)構(gòu)，很容易在坩堝蓋子的蒸鍍孔部位集結(jié)，直至蒸鍍孔被完全堵住。但由于OLED器件制作工藝的特殊性，OLED器件的制作需要在持續(xù)的真空環(huán)境下進(jìn)行，直至連續(xù)完成有機(jī)材料的蒸鍍。蒸鍍孔一旦被堵住就無法繼續(xù)蒸鍍，使蒸鍍工藝無法繼續(xù)進(jìn)行，會嚴(yán)重影響生產(chǎn)進(jìn)度。

這種情況下，目前的做法只能先把OLED材料降溫至室溫，然后打開蒸鍍腔體，待處理完塞孔的蒸鍍源后再關(guān)閉腔體、重新抽真空，并加熱到一定溫度，才能繼續(xù)進(jìn)行蒸鍍工藝，通常這個(gè)過程需要耗費(fèi)數(shù)十小時(shí)，且打開腔體極易導(dǎo)致空氣中灰塵進(jìn)入腔體，嚴(yán)重影響產(chǎn)能及產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，可以在不打開真空腔體的情況下解決蒸鍍坩堝的蒸鍍孔堵塞的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：

一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，包括頂面開口的加熱容器以及蓋設(shè)于所述加熱容器開口的第一擋板和第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板上分別開設(shè)有貫穿孔；所述第一擋板和所述第二擋板可相對滑動(dòng)，使二者上的貫穿孔在至少兩個(gè)不同的配合位置配合形成連通所述加熱容器的蒸鍍通道。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板和所述第二擋板在所述加熱容器的高度方向上層疊設(shè)置，且延伸方向交叉設(shè)置；所述第一擋板和所述第二擋板的至少一個(gè)上的貫穿孔為沿相應(yīng)的擋板的長度方向延伸的條形孔，所述第一擋板和所述第二擋板沿各自的長度方向可移動(dòng)，以使得上下設(shè)置的貫穿孔在所述加熱容器的高度方向上連通形成不同的蒸鍍通道。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板上的貫穿孔為沿其長度方向延伸的條形孔，所述第二擋板上的貫穿孔為在其長度方向間隔設(shè)置的點(diǎn)狀通孔。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板上的貫穿孔均為在相應(yīng)的擋板的長度方向間隔設(shè)置的點(diǎn)狀通孔。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板上的貫穿孔均為沿相應(yīng)的擋板的長度方向延伸的條形孔。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板和所述第二擋板相互垂直。

作為其中一種實(shí)施方式，所述加熱容器為坩堝。