[發明專利]蒸鍍用的蒸發源裝置

有效

• 申請號: 201710505480.0
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN107267919B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 余威
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，包括頂面開口的加熱容器(10)以及蓋設于所述加熱容器(10)開口的第一擋板(20)和第二擋板(30)，所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)上分別開設有貫穿孔；所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)可相對滑動，使二者上的貫穿孔在至少兩個不同的配合位置配合形成連通所述加熱容器(10)的蒸鍍通道；所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)在所述加熱容器(10)的高度方向上層疊設置，且延伸方向交叉設置；所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)的至少一個上的貫穿孔為沿相應的擋板的長度方向延伸的條形孔，所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)沿各自的長度方向可移動，以使得上下設置的貫穿孔在所述加熱容器(10)的高度方向上連通形成不同的蒸鍍通道。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，所述第一擋板(20)上的貫穿孔為沿其長度方向延伸的條形孔，所述第二擋板(30)上的貫穿孔為在其長度方向間隔設置的點狀通孔。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)上的貫穿孔均為在相應的擋板的長度方向間隔設置的點狀通孔。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)上的貫穿孔均為沿相應的擋板的長度方向延伸的條形孔。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，所述第一擋板(20)和所述第二擋板(30)相互垂直。

6.根據權利要求1所述的蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，所述加熱容器(10)為坩堝。

7.根據權利要求1-6任一所述的蒸鍍用的蒸發源裝置，其特征在于，所述第二擋板(30)設于所述第一擋板(20)上表面，所述第二擋板(30)的貫穿孔旁圍設有傾斜的縮口狀的遮蓋部(30a)，所述遮蓋部(30a)的端面尺寸小于所述第二擋板(30)的貫穿孔的尺寸。