[發明專利]一種干涉式粗糙度檢測儀在審
| 申請號： | 201710499831.1 | 申請日： | 2017-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN107238356A | 公開（公告）日： | 2017-10-10 |
| 發明（設計）人： | 葉曉龍 | 申請（專利權）人： | 蘇州天鍵衡電子信息科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙)32267 | 代理人： | 馬廣旭 |
| 地址： | 215400 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 干涉 粗糙 檢測 | ||
【權利要求書】：
1.一種干涉式粗糙度檢測儀，其特征在于，包括機體（1）、檢測探頭（2）與定位裝置（3）；所述機體（1）包括顯示屏（4）、功能按鍵（5）、信號處理模塊及電源；所述檢測探頭（2）、定位裝置（3）分別與機體（1）連接，所述檢測探頭（2）設有干涉顯微鏡（7）。
2.根據權利要求1所述的一種干涉式粗糙度檢測儀，其特征在于，所述功能按鍵（5）采用絕緣橡膠按鈕。
3.根據權利要求1所述的一種干涉式粗糙度檢測儀，其特征在于，所述顯示屏（4）采用多點觸控式彩色液晶顯示屏（4）。
4.根據權利要求1所述的一種干涉式粗糙度檢測儀，其特征在于，所述定位裝置（3）為電場定位裝置（3）。
5.根據權利要求4所述的一種干涉式粗糙度檢測儀，其特征在于，所述檢測探頭（2）設有與電場定位裝置配合的定位探頭（8），所述定位探頭（8）呈筒狀，所述定位探頭（8）安裝于干涉顯微鏡（7）外側。
6.根據權利要求4所述的一種干涉式粗糙度檢測儀，其特征在于，所述電場定位裝置（3）包括電場產生器，所述電場產生器設有夾式連接頭（6）。
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