[發(fā)明專利]一種管芯參數(shù)測(cè)試方法、適配裝置及該裝置的安裝方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710498176.8
• 申請(qǐng)日: 2017-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN109119352B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賀振卿;銀登杰;焦莎莎;李勇;王明;彭軍華;劉棟;鄒平;羅得;劉艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株洲中車時(shí)代半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 陳暉

本發(fā)明公開了一種管芯參數(shù)測(cè)試方法、適配裝置及該裝置的安裝方法，裝置包括：陰極適配器和陽(yáng)極適配器，管芯設(shè)置于陰極適配器與陽(yáng)極適配器之間。陰極適配器包括陰極墊板、陰極塊和門極件，陰極墊板、陰極塊采用導(dǎo)電材料。陰極墊板設(shè)置有與管芯的門極圖形對(duì)應(yīng)的陰極墊板槽。門極件設(shè)置于陰極墊板槽中，并在測(cè)試時(shí)與管芯的門極相連。陰極墊板的一面與管芯的陰極相裝配，另一面與陰極塊相裝配。陽(yáng)極適配器進(jìn)一步包括陽(yáng)極塊，及用于固定管芯的定位圈，陽(yáng)極塊采用導(dǎo)電材料，定位圈設(shè)置于陽(yáng)極塊的一面。陽(yáng)極塊設(shè)置有定位圈的一面在管芯測(cè)試時(shí)與管芯的陽(yáng)極相裝配。本發(fā)明能夠解決傳統(tǒng)管芯測(cè)試適配器需逐片裝放與拆卸，測(cè)試效率和準(zhǔn)確性不高的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及功率半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種應(yīng)用于復(fù)雜圖形半導(dǎo)體器件的管芯參數(shù)測(cè)試方法、適配裝置及該裝置的安裝方法。

背景技術(shù)

對(duì)晶閘管的管芯參數(shù)進(jìn)行測(cè)試是檢驗(yàn)元件參數(shù)滿足特定技術(shù)要求的必要手段，晶閘管的管芯測(cè)試分為靜態(tài)測(cè)試和動(dòng)態(tài)測(cè)試。其中，晶閘管管芯的動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試是在一定的高溫下，在特定的測(cè)試設(shè)備上完成。晶閘管的管芯1由門極11、陰極12和陽(yáng)極13三個(gè)電極組成，陰極12的外周設(shè)置有臺(tái)面保護(hù)膠14，15為管芯1的錨頂位置，如附圖1所示。當(dāng)進(jìn)行晶閘管動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試時(shí)，需要在陽(yáng)極13和陰極12之間給以一定的高電壓，并在門極11上給以一定的觸發(fā)信號(hào)。因此，測(cè)試時(shí)由于門極11和陰極12在同一平面上，為防止兩者之間短路，必須隔離才能完成測(cè)試。

最傳統(tǒng)的測(cè)試方法為測(cè)試芯片參數(shù)之前在管芯的陰極粘貼墊片，將門極和陰極隔離，再進(jìn)行測(cè)試。在現(xiàn)有技術(shù)中，由本申請(qǐng)人于2006年02月22日申請(qǐng)，并于2006年08月02日公開，公開號(hào)為CN1811476A的中國(guó)發(fā)明申請(qǐng)《一種晶閘管管芯參數(shù)測(cè)試模具》中對(duì)該種方法進(jìn)行了簡(jiǎn)單的描述。該發(fā)明晶閘管管芯參數(shù)測(cè)試模具，包括上模具、中模具、下模具，上模具中部設(shè)有形狀與芯片圖形形狀一致用于觀察芯片圖形的通孔，上模具外緣對(duì)應(yīng)其中部芯片圖形觀察通孔形狀錨頂?shù)奈恢迷O(shè)有一供芯片陰極線穿出的管銷及用于固定管銷的定位通孔。中模具的上緣設(shè)有與芯片和上模具定位的缺口，中模具的下緣設(shè)有與下模具定位的缺口。下模具的上緣設(shè)有與中模具定位的缺口。

現(xiàn)有的測(cè)試方法為設(shè)計(jì)專用的管芯測(cè)試適配器，公開號(hào)為CN1811476A的中國(guó)發(fā)明申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N不必粘貼陰極墊片，可直接對(duì)芯片進(jìn)行參數(shù)測(cè)試的晶閘管管芯參數(shù)測(cè)試模具。該發(fā)明雖然解決了傳統(tǒng)測(cè)試方法必須粘貼陰極墊片的技術(shù)問(wèn)題，但是測(cè)試前管芯的裝放與測(cè)試完成后管芯的拆卸較為繁瑣，必須每次將適配器從測(cè)試設(shè)備中取出，逐片進(jìn)行裝放和拆卸，操作耗時(shí)較長(zhǎng)，不利于測(cè)試效率的提高。同時(shí)，管芯裝放時(shí)存在管芯圖形與適配器圖形不易對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題，導(dǎo)致管芯參數(shù)測(cè)試有偏差，測(cè)試出現(xiàn)偏差后需要再次進(jìn)行參數(shù)測(cè)試，耽誤測(cè)試周期。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種管芯參數(shù)測(cè)試方法、適配裝置及該裝置的安裝方法，以解決傳統(tǒng)管芯測(cè)試適配器需逐片裝放與拆卸，測(cè)試效率和準(zhǔn)確性不高的技術(shù)問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明具體提供了一種管芯參數(shù)測(cè)試適配裝置的技術(shù)實(shí)現(xiàn)方案，一種管芯參數(shù)測(cè)試適配裝置，所述適配裝置與測(cè)試設(shè)備相裝配，用于對(duì)管芯進(jìn)行測(cè)試，適配裝置包括：陰極適配器和陽(yáng)極適配器，所述管芯設(shè)置于所述陰極適配器與陽(yáng)極適配器之間。

所述陰極適配器進(jìn)一步包括陰極墊板、陰極塊和門極件，所述陰極墊板、陰極塊采用導(dǎo)電材料。所述陰極墊板設(shè)置有與所述管芯的門極相對(duì)應(yīng)的陰極墊板槽。所述門極件設(shè)置于所述陰極墊板槽中，在所述管芯被測(cè)試時(shí)與所述管芯的門極相連。所述陰極墊板的一面與所述管芯的陰極相裝配，另一面與所述陰極塊相裝配，所述陰極塊還與所述測(cè)試設(shè)備相裝配。

所述陽(yáng)極適配器進(jìn)一步包括陽(yáng)極塊，及用于固定所述管芯的定位圈，所述陽(yáng)極塊采用導(dǎo)電材料，所述定位圈設(shè)置于所述陽(yáng)極塊的一面。所述陽(yáng)極塊設(shè)置有定位圈的一面在所述管芯被測(cè)試時(shí)與所述管芯的陽(yáng)極相裝配，所述陽(yáng)極塊的另一面與所述測(cè)試設(shè)備相裝配。