[發明專利]一種管芯參數測試方法、適配裝置及該裝置的安裝方法

有效

• 申請號: 201710498176.8
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN109119352B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 賀振卿;銀登杰;焦莎莎;李勇;王明;彭軍華;劉棟;鄒平;羅得;劉艷
• 申請（專利權）人: 株洲中車時代半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 陳暉

1.一種管芯參數測試適配裝置，所述適配裝置(100)與測試設備(200)相裝配，用于對管芯(1)進行測試，其特征在于，包括：陰極適配器(10)和陽極適配器(20)，所述管芯(1)設置于所述陰極適配器(10)與陽極適配器(20)之間；

所述陰極適配器(10)進一步包括陰極墊板(2)、陰極塊(3)和門極件(4)，所述陰極墊板(2)、陰極塊(3)采用導電材料；所述陰極墊板(2)設置有與所述管芯(1)的門極(11)相對應的陰極墊板槽(21)；所述門極件(4)設置于所述陰極墊板槽(21)中，在所述管芯(1)被測試時與所述管芯(1)的門極(11)相連；所述陰極墊板(2)的一面與所述管芯(1)的陰極(12)相裝配，另一面與所述陰極塊(3)相裝配，所述陰極塊(3)還與所述測試設備(200)相裝配；

所述陽極適配器(20)進一步包括陽極塊(5)，及用于固定所述管芯(1)的定位圈(6)，所述陽極塊(5)采用導電材料，所述定位圈(6)設置于所述陽極塊(5)的一面；所述陽極塊(5)設置有定位圈(6)的一面在所述管芯(1)被測試時與所述管芯(1)的陽極(13)相裝配，所述陽極塊(5)的另一面與所述測試設備(200)相裝配；

所述門極件(4)包括絕緣體(41)，以及設置于所述絕緣體(41)內部的門極線(42)和可活動的門極針(43)；所述門極針(43)采用導電材料，所述門極線(42)與所述門極針(43)彼此相連，在所述管芯(1)被測試時所述門極針(43)與所述管芯(1)的門極(11)相連；

在所述陰極墊板槽(21)中與所述管芯(1)的門極(11)對應的位置開設有用于安裝所述門極件(4)的門極件安裝孔(22)；在所述陰極墊板(2)上沿裝配方向還開設有對準安裝孔一(23)和對準安裝孔二(24)，在所述陰極墊板槽(21)上與所述管芯(1)的錨頂(15)對應的位置設置有錨頂標記(25)；

在所述陰極塊(3)上與門極件(4)對應的位置，沿裝配方向設置有門極線引出輔助孔(31)，所述門極線引出輔助孔(31)為通孔；在所述陰極塊(3)上與所述適配裝置(100)相裝配的一面，沿裝配方向開設有對準安裝孔三(32)和對準安裝孔四(33)、陰極線緊固螺孔(37)，并設置有陰極適配器定位銷(38)；在所述陰極塊(3)的側面開設有陰極適配器緊固螺孔(34)、陰極線引出孔(35)和門極線引出孔(36)；所述對準安裝孔三(32)與所述對準安裝孔一(23)的位置對應，所述對準安裝孔四(33)與所述對準安裝孔二(24)的位置對應；

所述陰極適配器緊固螺孔(34)與所述門極線引出輔助孔(31)相連通，當測試設備(200)上的陰極定位銷(88)伸入所述門極線引出輔助孔(31)中，通過所述陰極適配器緊固螺孔(34)進行緊固；所述陰極線引出孔(35)與所述陰極線緊固螺孔(37)相連通，陰極線(101)的一端通過所述陰極線緊固螺孔(37)緊固在所述陰極適配器(10)中，另一端通過所述陰極線引出孔(35)對外引出；所述門極線引出輔助孔(31)與所述門極線引出孔(36)相連通，所述門極線(42)經所述門極線引出輔助孔(31)從所述門極線引出孔(36)對外引出；所述陰極線引出孔(35)的中心點與所述錨頂標記(25)的中心點在水平方向上的位置對準；

在所述陽極塊(5)的側面開設有陽極適配器緊固螺孔(51)和陽極線引出孔(52)，在所述陽極塊(5)上與所述適配裝置(100)相裝配的一面，沿裝配方向開設有陽極線緊固螺孔(53)，并設置有陽極適配器定位銷(54)；

所述陽極適配器緊固螺孔(51)與所述陽極線緊固螺孔(53)相連通，當測試設備(200)上的陽極定位銷(83)伸入所述陽極線緊固螺孔(53)中，通過所述陽極適配器緊固螺孔(51)進行緊固；所述陽極線引出孔(52)與所述陽極線緊固螺孔(53)相連，陽極線(102)的一端通過陽極線緊固螺孔(53)緊固在所述陽極適配器(20)中，另一端通過所述陽極線引出孔(52)對外引出；

所述定位圈(6)朝向所述陰極墊板(2)的一側邊緣開設有用于觀察所述管芯(1)位置的對準觀察窗口(61)，所述定位圈(6)上還開設有用于取出所述管芯(1)的管芯取出口(62)；所述對準觀察窗口(61)的中心點與所述陰極線引出孔(35)的中心點在水平方向上的位置對準，所述對準觀察窗口(61)的中心點與所述陽極適配器緊固螺孔(51)的中心點在水平方向上的位置對準。