[發明專利]多晶硅片的制絨工藝在審
| 申請號： | 201710496812.3 | 申請日： | 2017-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN107059136A | 公開（公告）日： | 2017-08-18 |
| 發明（設計）人： | 張兆民 | 申請（專利權）人： | 張兆民 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 221000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 硅片 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅片的制絨工藝，其特征在于，包括以下步驟，
(1)切片，將原料硅片切成片狀；
(2)酸制絨，在含有硝酸、氫氟酸、醋酸和去離子水的混合液中進行酸制絨；
(3)在氫氧化鉀溶液中進行堿制絨；
(4)在含有鹽酸和氫氟酸的混合液中進行酸洗；
(5)清洗并烘干；
(6)分光光度計測量。
2.按照權利要求1所述的多晶硅片的制絨工藝，其特征在于：所述步驟(2)混合液中硝酸的質量分數為18-26％，氫氟酸的質量分數為12-16％，醋酸質量分數為8-13％，余量為去離子水，硅片在18-23℃下制絨3-8min。
3.按照權利要求1所述的多晶硅片的制絨工藝，其特征在于：所述步驟(3)中氫氧化鉀的質量分數為10-14％，硅片在30-39℃下制絨3-5min。
4.按照權利要求1所述的多晶硅片的制絨工藝，其特征在于：所述步驟(4)混合液中鹽酸的質量分數為13％，氫氟酸的質量分數為7％，硅片在25℃下酸洗2min。
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