[發明專利]調整懸臂探針卡針跡的方法

在審

• 申請號: 201710493534.6
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN107368100A
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 王玉龍;葉建明;凌儉波;熊忠應;王錦
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G05D3/12
• 分類號: G05D3/12;G01R3/00
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根,徐穎

技術領域

本發明涉及一種測試調整方法，特別涉及一種調整懸臂探針卡針跡的方法。

背景技術

晶圓測試是使用測試設備測試在晶圓上的待測芯片。探針卡是晶圓測試中被測芯片和測試機之間的接口。懸臂探針卡是晶圓測試中被測芯片和測試機之間的接口，用于固定帶探針的環氧樹脂環，探針尾部焊接到探針卡的固定焊盤上。在晶圓測試中，對于懸臂探針卡針跡的控制是非常嚴格的，首先對于針跡的面積需要控制在芯片總面積的1/4以內，其次距離芯片四周要有5um的間距，避免針尖的偏移或探針臺的偏移導致針跡扎到芯片邊緣或芯片外，一旦針跡出現問題，會影響后續的封裝和成測測試，嚴重的導致這顆芯片報廢。

在測試廠內懸臂探針卡的針跡由專業人員進行手動調整，誤差較大。在測試過程中，懸臂探針卡如遇到鋁屑、沾污等異物可能就會使針尖的位置發生變化，影響針跡指標，也可能影響測試結果，這時需要請針卡公司來協助改善針跡的問題，針卡公司人員在測試廠內通過放大鏡手動進行調整，會存在一定的誤差，需要不斷的驗證和調整。懸臂探針卡可以在針卡公司內通過精密儀器進行調整，成本高并且周期長。在測試廠內針卡公司人員只能進行手動的簡單調整，如果將針卡送回針卡公司可以通過精密的儀器進行調整，但是調整針跡的成本就會變高，并且來回運送針卡的時間會變長，從而影響測試廠的測試效率。

發明內容

本發明是針對晶圓測試所用懸臂探針卡在使用過程中調整針跡困難的問題，提出了一種調整懸臂探針卡針跡的方法，，在原有懸臂探針卡的環氧樹脂固定部分使用新型的固定結構，使懸臂探針卡的針尖能夠精確的前后左右移動，保證針跡在允許范圍內。

本發明的技術方案為：一種調整懸臂探針卡針跡的方法，探針尾部通過銅線與探針卡板焊點焊接在一起，探針卡板焊點和測試機的通道資源相連，針尖與晶圓芯片上的管腳接觸進行測試，絕緣網格固定裝置與探針卡板固定，針臂上有一凸出矩形，將矩形切入網格固定裝置中的網格中，以此來固定探針；當需要調整針跡時，打開網格固定裝置上面的蓋板，根據探針臺給出的實際扎出的針跡來判斷調整方向，借助放大鏡，記住原來的網格具體位置，然后將網格固定裝置中網格往需要調整的方向調整，調整到位后，再將針臂上矩形切入到調整后的網格里，重新蓋上蓋板，完成調整。

所述網格固定裝置中網格數量和大小根據測試芯片的尺寸來決定。

所述針臂上凸出為三角形或菱形，對應的網格固定裝置中的各個網格形狀與其對應，達到固定作用。

本發明的有益效果在于：本發明調整懸臂探針卡針跡的方法，網格固定裝置來替換懸臂探針卡的環氧樹脂部分，來達到精確調整針跡的目的，降低了操作的難度性，節省了時間和成本，提高了效率。

附圖說明

圖1為現有懸臂探針卡使用示意圖；

圖2為本發明改造后的懸臂探針卡使用示意圖；

圖3為本發明懸臂探針卡固定仰視圖；

圖4為本發明懸臂探針卡固定立體示意圖。

具體實施方式

如圖1為現有懸臂探針卡使用示意圖，針尖與晶圓芯片上的管腳接觸進行測試，探針尾部通過銅線與探針卡板焊點焊接在一起，此焊點和測試機的通道資源相連，從而達到測試設備資源和晶圓芯片管腳互通，中間針臂部分用環氧樹脂與探針卡板PCB固定住。現在的懸臂探針卡針臂部分是固定在環氧樹脂里的，無調整功能。

如圖2所示本發明改造后的懸臂探針卡使用示意圖，在懸臂探針卡設計制作時，對針臂進行一定的改造，如圖3所示懸臂探針卡固定仰視圖，用絕緣網格固定裝置替換環氧樹脂，網格固定裝置與PCB板固定，針臂部分有一凸出矩形，將矩形切入網格固定裝置中的任意一個網格中，以此來固定探針，該網格固定裝置類似9宮格，根據芯片的尺寸來決定相應的格數和大小，該網格固定裝置里的網格可以上下移動，往針尖方向移動時可以調整針的位置，往針尾方向移動用以固定針臂，左右也可移動。調整時借以放大鏡的輔助，通過原有的格子位置和調整后的格子位置即可知道調整的幅度，能夠精確的調整到理想位置。

通過簡單的格子位置變化達到調整針臂和針尖的位置，大大降低了調針的難度，并且能夠一次性精確的調整到想要的位置，節省了大量維修的時間。