[發明專利]調整懸臂探針卡針跡的方法

在審

• 申請號: 201710493534.6
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN107368100A
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 王玉龍;葉建明;凌儉波;熊忠應;王錦
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G05D3/12
• 分類號: G05D3/12;G01R3/00
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根,徐穎

1.一種調整懸臂探針卡針跡的方法，探針尾部通過銅線與探針卡板焊點焊接在一起，探針卡板焊點和測試機的通道資源相連，針尖與晶圓芯片上的管腳接觸進行測試，其特征在于，絕緣網格固定裝置與探針卡板固定，針臂上有一凸出矩形，將矩形切入網格固定裝置中的網格中，以此來固定探針；當需要調整針跡時，打開網格固定裝置上面的蓋板，根據探針臺給出的實際扎出的針跡來判斷調整方向，借助放大鏡，記住原來的網格具體位置，然后將網格固定裝置中網格往需要調整的方向調整，調整到位后，再將針臂上矩形切入到調整后的網格里，重新蓋上蓋板，完成調整。

2.根據權利要求1所述調整懸臂探針卡針跡的方法，其特征在于，所述網格固定裝置中網格數量和大小根據測試芯片的尺寸來決定。

3.根據權利要求1所述調整懸臂探針卡針跡的方法，其特征在于，所述針臂上凸出為三角形或菱形，對應的網格固定裝置中的各個網格形狀與其對應，達到固定作用。