[發明專利]高純二乙基碲的制備方法在審
| 申請號: | 201710492824.9 | 申請日: | 2017-06-26 |
| 公開(公告)號: | CN107312042A | 公開(公告)日: | 2017-11-03 |
| 發明(設計)人: | 董禮;劉子偉;劉宇;李勝帥;許從應;林俊元;潘興華;萬欣 | 申請(專利權)人: | 江蘇南大光電材料股份有限公司 |
| 主分類號: | C07F11/00 | 分類號: | C07F11/00 |
| 代理公司: | 江蘇圣典律師事務所32237 | 代理人: | 王玉國 |
| 地址: | 215021 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高純 乙基 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種高純二乙基碲的制備方法。
背景技術
目前,MO源是伴隨著MOCVD技術而發展起來的。6N(6N=99.9999%)純度的MO源(metal organic金屬有機化合物)是制造半導體薄膜材料的主要金屬源,常作為如GaN、GaAs、InP、A1GaAs等半導體超薄型膜材料的基礎源。這些新型光電材料廣泛應用于激光器、紅外探測器、太陽能電池等高技術行業領域。
高純二乙基碲是MO源系列產品中的一種,主要作用是紅外探測TeCdHg薄膜材料的生長。在半導體工業中這些薄膜的性質跟二乙基碲的純度關系非常大,極少量的雜質都會給半導體沉積層的性能帶來極大的影響,因此需要使用高純的二乙基碲(無機雜質含量≤1ppm)。化學氣相沉積工藝對原材料的金屬雜質含量有一定的要求,使用純度99.9999%的高純二乙基碲才可以保證生長材料的導電性,發光效率符合技術要求,其中主要控制的雜質包括Si、Mg、Cu、Fe、Zn、As等。
高純二乙基碲是一種烷基金屬有機化合物,由于二乙基碲特殊的臭味,且在空氣中不穩定,氧化物對人體有毒害,以至于在合成中存在很大的危險性和不易控制性。合成純化都在惰性氣氛條件下完成,且合成更需在低溫條件下完成。
獲得有許多方法:1、金屬單質和鹵代烷直接反應制備法,但受到金屬單質反應活性的影響,通常實現比較困難。2、二乙基碲由碲粉、甲醛合次硫酸氫鈉、氫氧化鈉,鹵代烷經過化學合成得到,但該合成方法經過驗證收率不高,后處理麻煩,且產品中的水無法徹底分離(核磁圖譜顯示水峰一直存在)。
因此,需要開發出一種能可靠制備高純二乙基碲的方法,以滿足國內LED企業的需求。
發明內容
本發明的目的是克服現有技術存在的不足,提供一種高純二乙基碲的制備方法。
本發明的目的通過以下技術方案來實現:
高純二乙基碲的制備方法,特點是:包括以下步驟:
1)原材料的處理;
2)制備乙基鹵化鎂醚溶液;
3)四氯化碲的醚溶液與乙基鹵化鎂的醚溶液反應生成二乙基碲;
4)對二乙基碲進行精餾處理。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,步驟1),原材料包括鎂屑、鹵代烷、四氯化碲和醚溶劑。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,鹵代烷和醚溶劑進行除水、除雜質處理,四氯化碲采用真空加熱法進行抽烘,除去雜質。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,所述鹵代烷為溴乙烷。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,步驟2),在惰性氣氛條件下,在具有攪拌、回流的燒瓶中,加入鎂屑和無水醚溶劑,加入溴乙烷引發后繼續滴加,制備成醚溶液。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,步驟3)所述四氯化碲的醚溶液,是在四氯化碲中加入醚溶劑,攪拌,四氯化碲慢慢溶解,制備獲得四氯化碲的醚溶液。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,步驟3),將乙基鹵化鎂的醚溶液冷卻至-30℃~-50℃,然后在攪拌下滴加四氯化碲的醚溶液,滴加完后繼續攪拌。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,步驟1)~4)均在惰性氣體手套箱中進行。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,所述惰性氣體為氮氣、氬氣、氦氣中的一種。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,步驟4),二乙基碲精餾采用先常壓、后減壓的工藝方式。
進一步地,上述的高純二乙基碲的制備方法,其中,精餾采用填料柱,填料為直徑為1.5mm的θ型316L材質的不銹鋼填料。
本發明與現有技術相比具有顯著的優點和有益效果,具體體現在以下方面:
提供一種簡便易行的制備高純二乙基碲的方法,經過1HNMR(核磁共振)和ICP-OES(電感耦合等離子吸收光譜儀)檢測,其產品純度滿足6N標準(無機雜質含量<1ppm),核磁圖譜中不含醚溶劑峰和水峰,該制備方法獲得的二乙基碲純度高達99.9999%,雜質指標達到電子級要求,為TeCdHg薄膜生長提供可靠原料。制備工藝簡單,適合批量生產。
附圖說明
圖1:高純二乙基碲的化學結構式。
具體實施方式
為了對本發明的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解,現對照附圖詳細說明具體實施方案。
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