[發明專利]處理方法、處理裝置以及處理程序

有效

• 申請號: 201710491214.7
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN107543836B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 小中尚;姫田章宏;光永徹;長尾圭吾
• 申請（專利權）人: 株式會社理學
• 主分類號: G01N23/20
• 分類號: G01N23/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 高穎

本發明提供處理方法、處理裝置以及處理程序，能夠通過較少次數的φ掃描以極像圖的α無重復的方式連續地進行極圖測定，從而能夠進行高效的測定。在決定基于X射線衍射的極圖測定的條件的處理方法中，包括如下步驟：接受衍射角2θ的輸入的步驟；針對樣本面內的旋轉角φ決定各φ掃描中的入射X射線與x軸所成的角ω以及樣本的搖擺傾斜角χ的步驟，以使得在所輸入的2θ下的極圖測定中，在二維的檢測面230a中一次所能夠檢測到的散射矢量與樣本面所成的角α的范圍從α＝90°向α＝0°無重復地連續，反復進行ω以及χ的決定。

技術領域

本發明涉及決定基于X射線衍射的極圖(pole figure：極點図)測定的條件的處理方法、處理裝置以及處理程序。

背景技術

過去，在使用零維檢測器的極圖測定中，關于搖擺傾斜角(あおり角)χ、樣本面內的旋轉角φ，以χ步進(step)、φ掃描的方式來測定強度，創建極像圖(極図形)。這時，以χ、φ測定的強度在極像圖中被表征為α為90°-χ、β為φ的位置的強度。即，用χ、φ、ω表征機構上的控制位置，用α、β表征極像圖上的位置。

圖11A是表示零維檢測器的將β設為恒定時的檢測范圍的圖。如圖所示，在基于零維檢測器的測定中，用點來表征在一次曝光中得到的測定范圍。

與此相對，在使用二維檢測器的極圖測定中，能在一次曝光中以在α方向上連續的點進行測定(參考非專利文獻1)。圖11B是表示二維檢測器的將φ設為恒定時的檢測范圍的圖。如圖所示，在基于二維檢測器的測定中，在一次曝光中得到的測定范圍用曲線(圓弧)來表征。

若使用二維檢測器來進行如下的極圖測定，即，設為χ＝0°，進行φ掃描(0～360°)，則如圖12A所示那樣，能測定從極像圖的中心起恒定半徑的圓內的范圍。這時，一邊以步進方式來改變χ一邊進行基于φ掃描的測定，由此能創建整個范圍的極圖。

在圖12B的示例中，通過將α分為4步進來進行測定，從而對整個范圍進行了測定。在這樣的測定中，必須將取何種程度的步進包括在內由用戶輸入測定條件。

現有技術文獻

非專利文獻

非專利文獻1：Bob B.He，Wiley，Two-dimensional X-ray diffraction，2009，P226，P229

在使用上述那樣的二維檢測器的極圖測定中，若能以第1次的χ的步進來進行更大范圍的測定，則χ的步進數只要是3即可，由此關系到測定時間的縮短。因此，若將ω在衍射角度(2θ)的1/2的對稱配置下設為例如χ＝30°，就能覆蓋較大的α的范圍。

但是，這時，僅單純改變χ并挪移α的測定范圍，極像圖的α＝90°附近就無法進行測定。特別是在對在樣本面的法線方向上較強取向的樣本進行測定的情況下，不能測定α＝90°附近的強度數據，這一點是致命的。

另外，例如在非專利文獻1記載的系統中，在使用二維檢測器的極圖測定中使樣本傾斜來進行測定，由此一次測定大范圍的極像圖，縮短了測定時間。但是，在Fig.8.7的示例中不能測定極像圖的中心。圖13是表示將樣本傾斜成χ＝30°進行β掃描時的檢測范圍的圖。如圖13所示，在極像圖的中心出現圓形的測定的空白。為了消除這樣的在極像圖的中心產生的測定的空白，在現有的方法中需要試錯，給用戶帶來的負擔會變得很大。

發明內容

本發明鑒于這樣的狀況而提出，其目的在于，提供能通過較少次數的β掃描以搖擺傾斜角α無重復的方式連續地進行極圖測定從而能夠實現高效的測定的處理方法、處理裝置以及處理程序。