[發(fā)明專利]一種太陽能多晶硅的定向凝固生長(zhǎng)裝置及方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710488866.5 | 申請(qǐng)日: | 2017-06-23 |
| 公開(公告)號(hào): | CN109112618A | 公開(公告)日: | 2019-01-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 余剛;丁一;王劍;姚玖洪 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B28/06 | 分類號(hào): | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 李帥 |
| 地址: | 212200 江蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 預(yù)熔 保溫層 生長(zhǎng)區(qū) 坩堝 熔化 外圍 太陽能多晶硅 感應(yīng)加熱器 定向凝固 生長(zhǎng)裝置 生長(zhǎng)坩堝 硅料 漏斗 半連續(xù)性 保溫裝置 加熱裝置 溫度梯度 硅液 鑄錠 凝固 | ||
本發(fā)明提供一種太陽能多晶硅的定向凝固生長(zhǎng)裝置,包括預(yù)熔區(qū)和生長(zhǎng)區(qū);所述預(yù)熔區(qū)包括預(yù)熔坩堝,包裹于預(yù)熔坩堝外圍的第一保溫層和包裹于第一保溫層外圍的第一感應(yīng)加熱器;所述生長(zhǎng)區(qū)包括漏斗,漏斗下方設(shè)置生長(zhǎng)坩堝,所述生長(zhǎng)坩堝外圍包裹有第二保溫層,所述第二保溫層外圍包裹有第二感應(yīng)加熱器。將硅料的熔化和凝固分別在2個(gè)不同的坩堝中進(jìn)行,硅料在預(yù)熔區(qū)熔化后,倒入另一個(gè)加有保溫裝置的生長(zhǎng)區(qū)。通過控制生長(zhǎng)區(qū)坩堝周圍的加熱裝置,使硅液在設(shè)定的溫度梯度下由底部開始逐漸結(jié)晶。這種方法由于將熔化與結(jié)晶區(qū)分開,使能量的利用更合理,也使半連續(xù)性鑄錠成為現(xiàn)實(shí)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及多晶硅的生長(zhǎng)方法,具體涉及一種太陽能多晶硅的定向凝固生長(zhǎng)裝置及方法。
背景技術(shù)
多晶硅,灰色金屬光澤。密度2.32~2.34。熔點(diǎn)1410℃。沸點(diǎn)2355℃。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和鹽酸。硬度介于鍺和石英之間,室溫下質(zhì)脆,切割時(shí)易碎裂。加熱至800℃以上即有延性,1300℃時(shí)顯出明顯變形。常溫下不活潑,高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。高溫熔融狀態(tài)下,具有較大的化學(xué)活潑性,能與幾乎任何材料作用。具有半導(dǎo)體性質(zhì),是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料,但微量的雜質(zhì)即可大大影響其導(dǎo)電性。電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機(jī)、錄音機(jī)、電冰箱、彩電、錄像機(jī)、電子計(jì)算機(jī)等的基礎(chǔ)材料。由干燥硅粉與干燥氯化氫氣體在一定條件下氯化,再經(jīng)冷凝、精餾、還原而得。
當(dāng)前,晶體硅材料(包括多晶硅和單晶硅)是最主要的光伏材料,其市場(chǎng)占有率在90%以上,而且在今后相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)期也依然是太陽能電池的主流材料。多晶硅材料的生產(chǎn)技術(shù)長(zhǎng)期以來掌握在美、日、德等3個(gè)國(guó)家7個(gè)公司的10家工廠手中,形成技術(shù)封鎖、市場(chǎng)壟斷的狀況。
目前,定向凝固是制備太陽能級(jí)多晶硅錠的主要方法,即在凝固過程中控制液固界面的溫度梯度,實(shí)行可控的定向凝固,形成多晶柱狀晶。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種太陽能多晶硅的定向凝固生長(zhǎng)裝置及方法,將硅料的熔化和凝固分別在2個(gè)不同的坩堝中進(jìn)行,硅料在預(yù)熔區(qū)熔化后,倒入另一個(gè)加有保溫裝置的生長(zhǎng)區(qū)。通過控制生長(zhǎng)區(qū)坩堝周圍的加熱裝置,使硅液在設(shè)定的溫度梯度下由底部開始逐漸結(jié)晶。這種方法由于將熔化與結(jié)晶區(qū)分開,使能量的利用更合理,也使半連續(xù)性鑄錠成為現(xiàn)實(shí)。
本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種太陽能多晶硅的定向凝固生長(zhǎng)裝置,包括預(yù)熔區(qū)和生長(zhǎng)區(qū);
所述預(yù)熔區(qū)包括預(yù)熔坩堝,包裹于預(yù)熔坩堝外圍的第一保溫層和包裹于第一保溫層外圍的第一感應(yīng)加熱器;
所述生長(zhǎng)區(qū)包括漏斗,漏斗下方設(shè)置生長(zhǎng)坩堝,所述生長(zhǎng)坩堝外圍包裹有第二保溫層,所述第二保溫層外圍包裹有第二感應(yīng)加熱器。
進(jìn)一步的,包括帶V形槽的支架,所述漏斗放置于帶V形槽的支架的V形槽內(nèi)。
進(jìn)一步的,所述帶V形槽的支架與下方的生長(zhǎng)坩堝之間設(shè)置有支撐板。
進(jìn)一步的,所述漏斗與帶V形槽的支架的接觸面設(shè)置有第二保溫層。
進(jìn)一步的,所述第二保溫層與第二感應(yīng)加熱器之間設(shè)置有導(dǎo)熱板。
進(jìn)一步的,所述生長(zhǎng)區(qū)底部設(shè)置有隔熱底板。
本發(fā)明還提供一種太陽能多晶硅的定向凝固生長(zhǎng)方法,具體步驟如下:將硅料放入預(yù)熔區(qū)的預(yù)熔坩堝內(nèi)熔化成硅液后,倒入加有保溫裝置的生長(zhǎng)坩堝中,通過控制生長(zhǎng)坩堝周圍的第二感應(yīng)加熱器的加熱溫度,使硅液在設(shè)定的溫度梯度下由底部開始逐漸結(jié)晶。
本發(fā)明的有益效果是:將硅料的熔化和凝固分別在2個(gè)不同的坩堝中進(jìn)行,硅料在預(yù)熔區(qū)熔化后,倒入另一個(gè)加有保溫裝置的生長(zhǎng)區(qū)。通過控制生長(zhǎng)區(qū)坩堝周圍的加熱裝置,使硅液在設(shè)定的溫度梯度下由底部開始逐漸結(jié)晶。這種方法由于將熔化與結(jié)晶區(qū)分開,使能量的利用更合理,也使半連續(xù)性鑄錠成為現(xiàn)實(shí)。
附圖說明
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