[發明專利]陰極組件的回收方法

有效

• 申請號: 201710486240.0
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN107180733B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 王鵬康;周秋俊;賀兆昌;朱剛
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所
• 主分類號: H01J9/50
• 分類號: H01J9/50
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 鄒飛艷;張苗

本發明公開了一種陰極組件的回收方法，其中，所述回收方法包括：1)對待回收陰極組件進行尺寸檢測；2)對經尺寸檢測合格的待回收陰極組件表面進行刻蝕后鍍膜，制得鍍膜后的待回收陰極組件；3)將鍍膜后的待回收陰極組件與陽極組裝好后進行封裝，而后經陰極組件排氣、陰極激活老練和陽極除氣后，檢測其發射電流，若發射電流合格，則進行回收，反之，則進行報廢。本發明通過對待回收陰極組件順次經過尺寸檢測、刻蝕后鍍膜、封裝、陰極組件排氣、陰極激活老練和陽極除氣后，檢測其發射電流，通過對發射電流結果的判斷來判定其是否合格，并進行回收。從而通過相對簡單的方式大大提高了陰極組件的回收率，降低了使用成本。

技術領域

本發明涉及微波真空器件用陰極電子發生源組件，具體地，涉及陰極組件的回收方法。

背景技術

現代大功率微波器件中鋇鎢陰極被廣泛地應用，用作電子源發射電子，是微波器件的“心臟”。

在微波器件尤其是行波管研制初期，需要制作大量的試驗短管驗證電子光學系統的合理性或者驗證工藝設計的合理性。在此過程中就需要消耗掉大量的鋇鎢陰極，造成浪費。由于行波管研制初期制作的試驗短管只是驗證設計合理性而對陰極的壽命不做太高要求，只要陰極滿足發射要求即可。

因此，提供一種能回收試驗用短管電子槍中的陰極組件，大大提高其利用率，降低試驗成本的陰極組件的回收方法是本發明亟需解決的問題。

發明內容

針對上述現有技術，本發明的目的在于克服現有技術中在試驗過程中往往需要消耗掉大量的鋇鎢陰極，容易造成浪費的問題，從而提供一種能回收試驗用短管電子槍中的陰極組件，大大提高其利用率，降低試驗成本的陰極組件的回收方法。

為了實現上述目的，本發明提供了一種陰極組件的回收方法，其中，所述回收方法包括：

1)對待回收陰極組件進行尺寸檢測；

2)對經尺寸檢測合格的待回收陰極組件表面進行刻蝕后鍍膜，制得鍍膜后的待回收陰極組件；

3)將鍍膜后的待回收陰極組件與陽極組裝好后進行封裝，而后經陰極組件排氣、陰極激活老練和陽極除氣后，檢測其發射電流，若發射電流合格，則進行回收，反之，則進行報廢。

優選地，步驟1)中待回收陰極組件為通過磨削或車削的方式從電子槍殼內分離出待回收陰極組件。

優選地，步驟1)中在對待回收陰極組件進行尺寸檢測前還包括將待回收陰極組件進行毛刺剔除，并將剔除毛刺后的待回收陰極組件表面進行吹洗。

優選地，所述吹洗過程為采用壓縮氮氣進行吹洗。

優選地，步驟2)中刻蝕鍍膜過程為置于離子刻蝕鍍膜機中進行，且刻蝕的厚度為5-9μm，鍍膜厚度為0.3-0.5μm。

優選地，所述鍍膜為鋨銥鋁膜。

優選地，步驟3)中組裝及封裝過程包括：將鍍好膜的待回收陰極組件裝架到芯柱上并組裝好測試陽極，然后封裝到玻璃管殼內，最后將待回收陰極組件封接到陰極排氣臺上。

優選地，步驟3)中陰極組件排氣、陰極激活老練和陽極除氣包括：

陰極組件排氣：當排氣臺中真空度達到不高于2×10-4Pa時，接通烘箱加熱電源，使烘箱內溫度升至370-390℃后保溫1-2h，且升溫速度控制在4℃/分鐘；

陰極激活老練：當排氣臺中真空度達到不高于2.7×10-5Pa時，將待回收陰極組件上的燈絲引線與老練電源的接線柱連接起來，給陰極組件逐步加電，使得陰極組件溫度達到1100-1150℃后，保溫1.5-2h；