[發明專利]離子注入量調節裝置及方法、離子注入設備、判斷方法

在審

• 申請號: 201710483558.3
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN107195518A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 經好;姜東佑;傅永義;劉晨亮;李儒健;羅康
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/05;H01J37/244
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,劉偉

技術領域

本發明涉及液晶產品制作技術領域，尤其涉及一種離子注入量調節裝置及方法、離子注入設備、判斷方法。

背景技術

離子注入是影響OLED Device(有機發光二極管器件)性能的重要工藝，摻雜離子注入量的多少，決定了OLED TFT(有機發光二極管顯示器中的薄膜晶體管)閾值電壓、接觸電阻大小，現有的離子注入設備中，離子出口的調節形式單一，只有Narrow(窄)、Wide(寬)兩種模式，無法進行Dose(離子注入)量的調節。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供一種離子注入量調節裝置及方法、離子注入設備、判斷方法，可以靈活調節離子注入量。

為了達到上述目的，本發明采用的技術方案是：一種離子注入量調節裝置，應用于離子注入設備，包括：

調節件，用于開啟和關閉離子出口；

驅動結構，用于控制所述調節件運動以調節離子出口的開口度。

進一步的，所述調節件包括設置于離子出口處的調節板，所述調節板為一板狀結構。

進一步的，所述驅動結構包括：

電機；

傳動桿，所述傳動桿的一端與所述電機驅動連接，所述傳動桿的另一端與所述調節板傳動連接。

進一步的，所述傳動桿的另一端通過旋轉軸與所述調節板的一端連接，所述調節板的另一端為自由端。

進一步的，所述調節件包括兩個調節板，一個所述傳動桿的另一端通過旋轉軸與每個所述調節板的一端連接以同時控制兩個所述調節板的運動，每個所述調節板的另一端為自由端。

進一步的，所述調節件包括兩個調節板，所述驅動結構包括分別控制兩個所述調節板的兩個驅動單元，每個所述驅動單元包括：

所述電機；

所述傳動桿，所述傳動桿的一端與相應的所述電機驅動連接，所述傳動桿的另一端與相應的所述調節板傳動連接。

進一步的，兩個所述調節板對稱設置于離子注入設備的離子出口處。

本發明還提供一種離子注入設備，包括上述的離子注入量調節裝置。

本發明還提供一種離子注入量調節方法，采用上述的離子注入量調節裝置實現，包括：

驅動結構控制調節件運動；

檢測離子注入量，并根據檢測結果調節調節件的運動量。

本發明還提供一種判斷方法，用于離子束均勻度的判斷，采用上述的離子注入量調節裝置實現，包括：

驅動結構控制調節件運動使得離子出口的開口度為第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第一檢測結果；

驅動結構控制調節件運動使得離子出口的開口度為第二開口度；

檢測離子注入量，獲得第二檢測結果；

根據所述第一檢測結果和所述第二檢測結果是否滿足預設要求而判斷離子束注入的均勻度。

本發明的有益效果是：可以靈活調節離子注入量。

附圖說明

圖1表示本發明實施例中離子注入量調節裝置結構示意圖；

圖2表示本發明實施例中離子注入量調節裝置調節離子出口處于第一狀態示意圖；

圖3表示本發明實施例中離子注入量調節裝置調節離子出口處于第二狀態示意圖；

圖4表示本發明實施例中離子注入量調節裝置調節離子出口處于第三狀態示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的特征和原理進行詳細說明，所舉實施例僅用于解釋本發明，但是并不是對本發明的保護范圍的限定。

如圖1所示，本實施例提供一種離子注入量調節裝置，應用于離子注入設備，包括：

調節件，用于開啟和關閉離子出口關閉；

驅動結構，用于控制所述調節件移動以調節離子出口的開口度。

本實施例離子注入量調節裝置可以將離子注入設備的離子出口關閉，并且可以通過驅動結構使得離子出口的開口度從0開始調節離子出口的開口度，且是可以靈活的調節為任意的開口度，從而可以調節從離子出口釋放出的離子量。

所述調節件的具體結構形式可以有多種，只要實現對離子注入設備的遮擋、且在驅動結構的控制下可以調節離子出口的開口度即可，本實施例中，所述調節件包括設置于離子出口處的調節板3，所述調節板3為一板狀結構。

所述調節板3的數量可以根據實際需要設定，本實施例的一個實施方式中，所述調節件包括一個所述調節板3。

所述驅動結構的具體結構形式可以有多種，只要實現對調節件的控制、以控制調節件移動以調節離子出口的開口度即可，本實施例中，所述驅動結構包括：

電機1；